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J-GLOBAL ID:200903015722002507
半導体レーザ素子及びその製造方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
大澤 斌 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001396900
Publication number (International publication number):2003198057
Application date: Dec. 27, 2001
Publication date: Jul. 11, 2003
Summary:
【要約】【課題】 端面窓構造型のAlGaInN系などの半導体レーザおよびその製造方法を提供する。【解決手段】 (0001)面を主面とするGaN基板に、少なくとも1つのステップ状構造Sが設けられ、少なくともInを含む2種類のIII族元素とNを含むV族元素を含む活性層と、該活性層の上層および下層にそれぞれ配置された第1導電型のクラッド層および第2導電型のクラッド層を有する半導体積層体が形成されており、活性層の端面が共振器の端面となって該共振器端面間に導波路Pを構成し、ステップ状構造Sの上段側であって、導波路Pの共振器端面を除く部分がステップ状構造Sの近傍に、導波路Pの共振器端面部分がそれよりも遠ざけられて、導波路Pが配置されている構成とする。
Claim (excerpt):
活性層の端面が共振器の端面となって該共振器端面間に導波路を構成する半導体レーザ素子であって、少なくとも一つのステップ状構造が設けられた基板上に、少なくともInを含む2種類のIII族元素とNを含むV族元素とを含む活性層と、活性層の上層及び下層にそれぞれ配置された第1導電型のクラッド層及び第2導電型のクラッド層とを有する半導体積層体を備え、上記ステップ状構造の上段側であって、上記導波路の共振器端面を除く部分が上記ステップ状構造の近傍に位置し、上記導波路の共振器端面部分と上記ステップ状構造との間の距離が上記導波路の共振器端面を除く部分と上記ステップ状構造との間の距離よりも大きくなるように、上記導波路が配置されていることを特徴とする半導体レーザ素子。
F-Term (15):
5F073AA13
, 5F073AA45
, 5F073AA74
, 5F073AA87
, 5F073AA89
, 5F073BA05
, 5F073CA07
, 5F073CB02
, 5F073CB03
, 5F073CB06
, 5F073CB11
, 5F073DA05
, 5F073DA25
, 5F073EA24
, 5F073EA28
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
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半導体素子の製造方法、及び半導体素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-115659
Applicant:シャープ株式会社
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半導体レーザ、半導体レーザ装置及び光集積回路
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-034700
Applicant:三洋電機株式会社
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窒化ガリウム系半導体レーザ素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-146786
Applicant:シャープ株式会社
-
半導体レーザ素子およびその製造方法ならびに半導体レーザ装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-039185
Applicant:株式会社日立製作所
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半導体光導波素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-102198
Applicant:株式会社東芝
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