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J-GLOBAL ID:200903016379423344

赤外線検出器および赤外線検出装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 星宮 勝美
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999358262
Publication number (International publication number):2001174324
Application date: Dec. 17, 1999
Publication date: Jun. 29, 2001
Summary:
【要約】【課題】 赤外線検出器の小型化、低コスト化、生産性の向上を可能にする。【解決手段】 赤外線検出器は、対向するように配置され接合された第1の基板部10と第2の基板部20を備えている。第1の基板部10は、第2の基板部20と対向する一方の面において開口する空洞部12が形成された赤外線透過性基板11と、基板11の一方の面側において空洞部12上に配置された赤外線検出素子14と、基板11の一方の面に形成された、赤外線検出素子14の出力信号を外部に取り出すための突起状電極16を有している。第2の基板部20は、赤外線検出素子14に対向する部分に空洞部22が形成され、突起状電極16に対向する部分において貫通する接続孔23が形成された絶縁性基板21と、接続孔23に埋め込まれた導電性物質よりなり、突起状電極16に電気的に接続された導電部24と、導電部24に電気的に接続された表面電極25を有している。
Claim (excerpt):
互いに対向するように配置され接合された第1の基板部と第2の基板部とを備え、前記第1の基板部は、前記第2の基板部と対向する一方の面において開口する空洞部が形成された第1の基板と、前記第1の基板の前記一方の面側において前記空洞部上に配置された赤外線検出素子と、前記第1の基板の前記一方の面に形成された、前記赤外線検出素子の出力信号を外部に取り出すための突起状電極とを有し、前記第2の基板部は、前記赤外線検出素子に対向する部分に空洞部が形成され、前記突起状電極に対向する部分において貫通する接続孔が形成され、前記第1の基板に対して対向するように配置され接合された絶縁性の第2の基板と、前記接続孔に埋め込まれた導電性物質よりなり、前記突起状電極に電気的に接続された導電部とを有することを特徴とする赤外線検出器。
IPC (3):
G01J 1/02 ,  G01J 1/42 ,  H01L 27/14
FI (3):
G01J 1/02 C ,  G01J 1/42 B ,  H01L 27/14 K
F-Term (23):
2G065AA04 ,  2G065AB02 ,  2G065BA11 ,  2G065BA12 ,  2G065BA14 ,  2G065BA37 ,  2G065BA38 ,  2G065BC01 ,  2G065BC07 ,  2G065CA21 ,  4M118AA10 ,  4M118AB10 ,  4M118BA05 ,  4M118BA06 ,  4M118CA06 ,  4M118CA14 ,  4M118CA35 ,  4M118GA10 ,  4M118HA02 ,  4M118HA20 ,  4M118HA22 ,  4M118HA24 ,  4M118HA25
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
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