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J-GLOBAL ID：200903017496269336

磁性薄膜およびこれを用いた磁気デバイス

Inventor：
平本 雅祥

About 平本 雅祥

, 
松川 望

About 松川 望

, 
榊間 博

About 榊間 博


Applicant, Patent owner：
松下電器産業株式会社

About 松下電器産業株式会社


Agent (1)： 池内 寛幸 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997240067
Publication number (International publication number)：1998223435
Application date： Sep. 04, 1997
Publication date： Aug. 21, 1998
Summary：
【要約】【課題】 軟磁性薄膜の高飽和磁束密度化に伴う熱安定性、耐環境性の劣化および基板割れを抑制し、磁気ヘッドなど磁気デバイスに有用な信頼性の高い軟磁性薄膜を提供する。【解決手段】 略柱状、略針状またはこれらの組み合わせから多枝形状の磁性結晶粒を母相とした磁性膜であって、略針状部または略柱状部の短手方向と長手方向の平均結晶サイズをそれぞれdS、dLが5nm<dS<100nm,dL>100nmの範囲となる磁性膜を含む薄膜をスパッタリング法などにより形成する。また、下地膜は平均粒径が20nm以下の微細磁性層が好ましい。
Claim (excerpt)：
平均体積Vaと平均表面積Saとが下記関係式を満たす磁性結晶粒を母相とする磁性膜を含む磁性薄膜。Sa>4.84Va2/3
IPC (3)：
H01F 10/14 ,  C01G 49/00 ,  C22C 38/00 303
FI (3)：
H01F 10/14 ,  C01G 49/00 Z ,  C22C 38/00 303 S
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (15)
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Cited by examiner (29)
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