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J-GLOBAL ID：200903017771294753
マイクロ波プラズマ発生装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
中井 宏
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995100144
Publication number (International publication number)：1996096991
Application date： Mar. 31, 1995
Publication date： Apr. 12, 1996
Summary：
【要約】【目的】 マイクロ波プラズマ発生装置において、プラズマ発生室内に放電開始補助体を配置して放電の開始を容易にすることを目的とする。【構成】 空胴共振器にアイソレータと自動整合器を設け、マイクロ波発生装置で発生させたマイクロ波を、導波管回路を通じてプラズマ発生室に供給してプラズマを発生させるマイクロ波プラズマ発生装置において、プラズマ発生室内のマイクロ波の電圧定在波の山に相当する位置に配置した放電開始補助手段を備えたマイクロ波プラズマ発生装置に関する。
Claim (excerpt)：
マイクロ波発生装置で発生させたマイクロ波を、導波管回路を通じてプラズマ発生室に供給してプラズマを発生させるマイクロ波プラズマ発生装置において、プラズマ発生室内のマイクロ波電圧定在波の山に相当する位置に配置した放電開始補助体を備えたマイクロ波プラズマ発生装置。
IPC (4)：
H05H 1/46
, C23F 4/00
, H01L 21/205
, H01L 21/3065
Cited by applicant (3)
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特開平4-056100
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マイクロ波導入窓及びマイクロ波プラズマ生成装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平5-107229
Applicant：キヤノン株式会社
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特開昭62-204530
Cited by examiner (5)
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