パターニング可能なシリカ含有無機酸化物被膜形成用コーティング剤及びパターン形成方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994295178
Publication number (International publication number)：1995305027
Application date： Nov. 29, 1994
Publication date： Nov. 21, 1995
Summary：

【要約】【構成】アルコキシシランの加水分解物、金属硝酸塩(アルミニウム等)及び析出防止剤(エチレングリコール等)が有機溶媒に溶解してなることを特徴とする光(紫外線等)によりパターニング可能なシリカ含有無機酸化物被膜形成用コーティング剤に関し、又、前記コーティング剤を基材に塗布、乾燥した後、紫外線等の光を照射し、光未照射部分を水により溶解除去する事を特徴とするシリカ含有無機酸化物のパターン形成方法に関する。【効果】本発明のコーティング剤は、紫外線等の光により、容易に所望部分にのみ、無機被膜を形成しうる。又、光未照射部の溶解除去が、水で行える為、耐薬品性の無い基材にも適用でき、且つ廃液、環境汚染等の問題が無い。

Claim (excerpt)：

アルコキシシランの加水分解物、金属硝酸塩及び析出防止剤が有機溶媒に溶解してなることを特徴とする光によりパターニング可能なシリカ含有無機酸化物被膜形成用コーティング剤。

IPC (3)：

C09D183/02 PMN , G03F 7/004 501 , G03F 7/038

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (15)

液晶表示素子用高屈折率絶縁被膜形成用塗布液
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-190773 Applicant：日産化学工業株式会社
液晶表示素子絶縁被膜形成用塗布液
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-004961 Applicant：日産化学工業株式会社
特開平4-220468

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