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J-GLOBAL ID：200903019371255530

波長依存性を考慮した複屈折測定装置及び方法

Inventor： 高和 宏行 ,  大谷 幸利 ,  梅田 倫弘 ,  吉澤 徹 ,  若山 俊隆
Applicant, Patent owner： 有限会社ユニオプト ,  大谷 幸利
Agent (1)： 波多野 久 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001373232
Publication number (International publication number)：2003172691
Application date： Dec. 06, 2001
Publication date： Jun. 20, 2003
Summary：

【要約】【課題】高次複屈折に加え、複屈折の波長依存性を考慮した複屈折計測を実現する。【解決手段】複屈折計測装置及び方法は、波形解析により、光信号の波数k、測定対象の複屈折δn、複屈折位相差Δ(k)、厚さd、主軸方位φ、複屈折δnの周波数成分項δn0、分散項δλ、及び位相情報φ(k)をそれぞれ用いて、複屈折位相差Δ(k)を、Δ(k)=2π・δn・d・k=2π・(δn0+δλ)・d・k=2π・δn0・d・k+φ(k)の関係を満たすように求めるものである。

Claim (excerpt)：

測定対象の複屈折に関する情報を担う光信号を取得する複屈折測定光学系と、前記複屈折測定光学系により取得された前記光信号の光強度分布を示す波形データから高次複屈折の次数を含む周波数成分及び波長依存性を担う位相成分を解析し、その解析データから前記高次複屈折に加え、前記波長依存性を示す複屈折を求める解析装置とを有することを特徴とする波長依存性を考慮した複屈折測定装置。

IPC (6)：

G01N 21/23 ,  G01J 4/04 ,  G01M 11/00 ,  G02B 5/18 ,  G02B 5/30 ,  G02F 1/11 505

FI (6)：

G01N 21/23 ,  G01J 4/04 Z ,  G01M 11/00 T ,  G02B 5/18 ,  G02B 5/30 ,  G02F 1/11 505

F-Term (39)：

2G059AA02 ,  2G059BB08 ,  2G059BB10 ,  2G059BB15 ,  2G059EE01 ,  2G059EE05 ,  2G059FF01 ,  2G059GG04 ,  2G059GG10 ,  2G059HH02 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ01 ,  2G059JJ02 ,  2G059JJ03 ,  2G059JJ05 ,  2G059JJ06 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ18 ,  2G059JJ19 ,  2G059KK04 ,  2G059MM01 ,  2G059MM10 ,  2G086EE09 ,  2G086EE10 ,  2G086EE12 ,  2H049AA07 ,  2H049AA50 ,  2H049AA58 ,  2H049BA02 ,  2H049BB03 ,  2H049BB05 ,  2H049BC23 ,  2H079AA04 ,  2H079AA12 ,  2H079BA01 ,  2H079BA04 ,  2H079CA07 ,  2H079KA05

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (10)

• 複屈折評価装置および複屈折評価方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-322866   Applicant：有限会社ユニオプト
• 複屈折評価装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-145462   Applicant：有限会社ユニオプト
• 複屈折測定装置及び複屈折測定方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-312008   Applicant：株式会社リコー
• 複屈折測定装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-257718   Applicant：王子製紙株式会社
• 特許第2927019号
  
• 特許第2995714号
  
• 特公平6-012333
  
• 特許第2735053号
  
• 複屈折測定方法及びその装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-083007   Applicant：株式会社リコー
• 複屈折量測定方法及び装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-261561   Applicant：ホーヤ株式会社

Cited by examiner (7)

• 複屈折評価装置および複屈折評価方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-322866   Applicant：有限会社ユニオプト
• 複屈折評価装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-145462   Applicant：有限会社ユニオプト
• 複屈折測定装置及び複屈折測定方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-312008   Applicant：株式会社リコー
• 延伸フィルム製造設備と複屈折測定方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-324742   Applicant：三井化学株式会社, 東セロ株式会社, 株式会社グランドポリマー
• 干渉スペクトル測定による屈折率及び複屈折率の決定方法並びにその決定装置及び決定用情報媒体
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-167063   Applicant：新田仁
• 複屈折測定装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-257718   Applicant：王子製紙株式会社
• 特許第2927019号
  

Article cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• "High-order birefringence measurement using spectroscopic polarized light"
• "Two-dimensional birefringence measurement using the phase shifting technique"
• "Spectroscopic polarimetry with a channeled spectrum"

Cited by examiner (5)

• "High-order birefringence measurement using spectroscopic polarized light"
• "Two-dimensional birefringence measurement using the phase shifting technique"
• "Spectroscopic polarimetry with a channeled spectrum"
• "Phase-shifting method for two-dimensional birefringence measurement with return-path beams"
• “高分子フィルムの複屈折率の高精度計測”