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J-GLOBAL ID:200903022007903455

表示デバイス

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (4): 植木 久一 ,  菅河 忠志 ,  二口 治 ,  伊藤 浩彰
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2005272643
Publication number (International publication number):2007017926
Application date: Sep. 20, 2005
Publication date: Jan. 25, 2007
Summary:
【課題】 透明電極膜(画素電極)との接続にAl合金よりも電気抵抗の低いCu合金膜を使用し、且つ、バリアメタルを形成せずとも透明電極との間で低抵抗の直接接続を実現し、液晶パネルなどに適用した場合に高い表示品質を与える表示デバイスを提供すること。【解決手段】 Cu合金膜からなる配線・電極部と透明導電膜が、高融点金属薄膜を介することなく直接接続している表示デバイスであって、前記Cu合金膜中に、Znおよび/またはMgを総量で0.1〜3.0原子%含有させ、あるいはNiおよび/またはMnを総量で0.1〜0.5原子%含有させ、バリアメタルなしで透明電極との間で低抵抗の直接接続を可能にした。【選択図】 図10
Claim (excerpt):
Cu合金膜からなる配線・電極部と透明導電膜が、高融点金属薄膜を介することなく直接接続している表示デバイスであって、前記Cu合金膜中に、Znおよび/またはMgが総量で0.1〜3.0原子%含まれていることを特徴とする表示デバイス。
IPC (3):
G02F 1/134 ,  G09F 9/30 ,  H01L 29/786
FI (4):
G02F1/1343 ,  G09F9/30 330Z ,  G02F1/1345 ,  H01L29/78 616V
F-Term (44):
2H092GA11 ,  2H092GA31 ,  2H092HA04 ,  2H092HA06 ,  2H092JA24 ,  2H092JB01 ,  2H092JB11 ,  2H092JB21 ,  2H092JB22 ,  2H092JB31 ,  2H092KA15 ,  2H092NA28 ,  5C094AA21 ,  5C094AA31 ,  5C094BA21 ,  5C094BA43 ,  5C094EA10 ,  5C094FB12 ,  5F110AA03 ,  5F110BB01 ,  5F110CC07 ,  5F110DD02 ,  5F110EE02 ,  5F110EE44 ,  5F110FF03 ,  5F110FF30 ,  5F110GG02 ,  5F110GG15 ,  5F110GG24 ,  5F110HK02 ,  5F110HK04 ,  5F110HK06 ,  5F110HK09 ,  5F110HK16 ,  5F110HK17 ,  5F110HK18 ,  5F110HK22 ,  5F110HK25 ,  5F110HK33 ,  5F110HL07 ,  5F110HL23 ,  5F110NN04 ,  5F110NN24 ,  5F110NN35
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (7)
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