Pat
J-GLOBAL ID:200903022007903455
表示デバイス
Inventor:
,
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (4):
植木 久一
, 菅河 忠志
, 二口 治
, 伊藤 浩彰
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2005272643
Publication number (International publication number):2007017926
Application date: Sep. 20, 2005
Publication date: Jan. 25, 2007
Summary:
【課題】 透明電極膜(画素電極)との接続にAl合金よりも電気抵抗の低いCu合金膜を使用し、且つ、バリアメタルを形成せずとも透明電極との間で低抵抗の直接接続を実現し、液晶パネルなどに適用した場合に高い表示品質を与える表示デバイスを提供すること。【解決手段】 Cu合金膜からなる配線・電極部と透明導電膜が、高融点金属薄膜を介することなく直接接続している表示デバイスであって、前記Cu合金膜中に、Znおよび/またはMgを総量で0.1〜3.0原子%含有させ、あるいはNiおよび/またはMnを総量で0.1〜0.5原子%含有させ、バリアメタルなしで透明電極との間で低抵抗の直接接続を可能にした。【選択図】 図10
Claim (excerpt):
Cu合金膜からなる配線・電極部と透明導電膜が、高融点金属薄膜を介することなく直接接続している表示デバイスであって、前記Cu合金膜中に、Znおよび/またはMgが総量で0.1〜3.0原子%含まれていることを特徴とする表示デバイス。
IPC (3):
G02F 1/134
, G09F 9/30
, H01L 29/786
FI (4):
G02F1/1343
, G09F9/30 330Z
, G02F1/1345
, H01L29/78 616V
F-Term (44):
2H092GA11
, 2H092GA31
, 2H092HA04
, 2H092HA06
, 2H092JA24
, 2H092JB01
, 2H092JB11
, 2H092JB21
, 2H092JB22
, 2H092JB31
, 2H092KA15
, 2H092NA28
, 5C094AA21
, 5C094AA31
, 5C094BA21
, 5C094BA43
, 5C094EA10
, 5C094FB12
, 5F110AA03
, 5F110BB01
, 5F110CC07
, 5F110DD02
, 5F110EE02
, 5F110EE44
, 5F110FF03
, 5F110FF30
, 5F110GG02
, 5F110GG15
, 5F110GG24
, 5F110HK02
, 5F110HK04
, 5F110HK06
, 5F110HK09
, 5F110HK16
, 5F110HK17
, 5F110HK18
, 5F110HK22
, 5F110HK25
, 5F110HK33
, 5F110HL07
, 5F110HL23
, 5F110NN04
, 5F110NN24
, 5F110NN35
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (7)
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配線付き基体形成用積層体、配線付き基体およびその形成方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-245934
Applicant:パイオニア株式会社, 旭硝子株式会社
-
配線付き基体形成用積層体、配線付き基体およびその形成方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-102693
Applicant:旭硝子株式会社
-
配線材料及びそれを用いた配線基板
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-143318
Applicant:出光興産株式会社
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特開昭58-124254
-
液晶表示装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-196846
Applicant:株式会社東芝
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特開平3-072045
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表示デバイスおよびその製法、ならびにスパッタリングターゲット
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2003-274288
Applicant:株式会社神戸製鋼所
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