表示デバイスおよびその製法、ならびにスパッタリングターゲット

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：小谷悦司 , 植木久一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003274288
Publication number (International publication number)：2004214606
Application date： Jul. 14, 2003
Publication date： Jul. 29, 2004
Summary：

【課題】アルミニウム合金膜と透明電極が直接コンタクトすることを可能とし、バリアメタルの省略を可能にするアルミニウム合金膜を用いた表示デバイスとその製造技術を提供すること。【解決手段】ガラス基板上に配置された薄膜トランジスタと、透明電極によって形成された画素電極と、これら薄膜トランジスタと画素電極を電気的に接続するアルミニウム合金膜によって形成された接続配線部を主たる構成要素として備えた表示デバイスとその製法を開示する。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

ガラス基板上に配置された薄膜トランジスタと、透明電極によって形成された画素電極、および、これら薄膜トランジスタと画素電極を電気的に接続するアルミニウム合金膜を有し、該アルミニウム合金膜と前記画素電極は、Mo,Cr,Ti,Wからなる高融点金属を介さずに直接接続しており、前記アルミニウム合金膜と画素電極が直接接触した接触界面において、前記アルミニウム合金膜を構成する合金成分の一部または全部が、析出物もしくは濃化層として存在していることを特徴とする表示デバイス。

IPC (7)：

H01L29/786 , G02F1/1343 , H01L21/28 , H01L21/285 , H01L21/3205 , H01L21/336 , H01L21/768

FI (7)：

H01L29/78 616V , G02F1/1343 , H01L21/28 301R , H01L21/285 S , H01L29/78 616K , H01L21/88 N , H01L21/90 A

F-Term (112)：

2H092GA29 , 2H092GA51 , 2H092HA03 , 2H092HA04 , 2H092HA06 , 2H092HA12 , 2H092HA18 , 2H092JA25 , 2H092JA26 , 2H092JA33 , 2H092JA35 , 2H092JA46 , 2H092KA04 , 2H092KA05 , 2H092KA10 , 2H092KA11 , 2H092KA12 , 2H092KA15 , 2H092KB01 , 2H092KB04 , 2H092KB11 , 2H092KB25 , 2H092MA05 , 2H092MA08 , 2H092MA13 , 2H092MA17 , 2H092MA27 , 2H092MA30 , 2H092MA42 , 2H092NA25 , 2H092NA27 , 2H092NA28 , 2H092NA30 , 4M104AA09 , 4M104BB02 , 4M104BB36 , 4M104BB38 , 4M104DD37 , 4M104DD40 , 4M104GG09 , 4M104GG10 , 4M104GG14 , 4M104HH15 , 5F033GG04 , 5F033HH09 , 5F033HH10 , 5F033HH38 , 5F033JJ10 , 5F033JJ38 , 5F033KK04 , 5F033KK10 , 5F033MM19 , 5F033NN13 , 5F033PP15 , 5F033QQ09 , 5F033QQ11 , 5F033QQ19 , 5F033QQ34 , 5F033QQ37 , 5F033QQ69 , 5F033QQ73 , 5F033QQ92 , 5F033QQ94 , 5F033RR04 , 5F033RR06 , 5F033SS15 , 5F033VV12 , 5F033VV15 , 5F033WW04 , 5F033XX09 , 5F033XX33 , 5F110AA16 , 5F110AA30 , 5F110BB01 , 5F110CC02 , 5F110CC07 , 5F110DD02 , 5F110DD13 , 5F110DD14 , 5F110DD17 , 5F110EE06 , 5F110EE23 , 5F110EE44 , 5F110FF02 , 5F110FF30 , 5F110GG02 , 5F110GG13 , 5F110GG15 , 5F110GG24 , 5F110GG25 , 5F110HJ01 , 5F110HJ13 , 5F110HJ23 , 5F110HK06 , 5F110HK09 , 5F110HK21 , 5F110HK27 , 5F110HK28 , 5F110HK42 , 5F110HL06 , 5F110HL23 , 5F110HM18 , 5F110NN03 , 5F110NN04 , 5F110NN14 , 5F110NN23 , 5F110NN24 , 5F110NN35 , 5F110NN72 , 5F110PP03 , 5F110PP35 , 5F110QQ12

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

表示装置用アレイ基板及びこのアレイ基板を備えた平面表示装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-083260 Applicant：株式会社東芝
薄膜トランジスタの製造方法およびこれを用いた液晶表示装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-086291 Applicant：三菱電機株式会社
薄膜トランジスタおよび該薄膜トランジスタを用いた液晶表示装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-086292 Applicant：三菱電機株式会社, 株式会社アドバンスト・ディスプレイ

Cited by examiner (6)

薄膜トランジスタの製造方法およびこれを用いた液晶表示装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-086291 Applicant：三菱電機株式会社
半導体電極用Al-Ni-Y 合金薄膜および半導体電極用Al-Ni-Y 合金薄膜形成用スパッタリングターゲット
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-093780 Applicant：株式会社神戸製鋼所
アルミニウム合金スパッタリングタ-ゲット材料
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-374003 Applicant：株式会社神戸製鋼所

Show all

Return to Previous Page