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J-GLOBAL ID：200903022374737499
感光性樹脂組成物およびパターン形成方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鍬田 充生
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998126201
Publication number (International publication number)：1999327125
Application date： May. 08, 1998
Publication date： Nov. 26, 1999
Summary：
【要約】【課題】 慣用のレジストやリソグラフィ技術を利用して、酸素プラズマ耐性,耐熱性,耐ドライエッチング性,感度や解像度を大きく改善する。【解決手段】 感光性樹脂組成物は、感光性樹脂に、露光波長よりも小さな平均粒子径(例えば、1〜100nm程度)の無機微粒子を添加することにより調製でき、特殊なレジストを用いる必要がない。無機微粒子は、官能基(例えば、感光性基)を有していてもよいコロイダルシリカなどで構成できる。感光性樹脂組成物は、ネガ型又はポジ型のいずれであってもよく、水又はアルカリ現像可能であってもよい。無機微粒子の使用量は、固形分換算で、通常、感光性樹脂100重量部に対して10〜500重量部程度である。
Claim (excerpt)：
感光性樹脂および無機微粒子で構成されている感光性樹脂組成物。
IPC (4)：
G03F 7/004 501
, G03F 7/021 501
, G03F 7/023
, G03F 7/40 521
G03F 7/004 501
, G03F 7/021 501
, G03F 7/023
, G03F 7/40 521
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