成膜装置の基板トレイ

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：中西次郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003287138
Publication number (International publication number)：2005054244
Application date： Aug. 05, 2003
Publication date： Mar. 03, 2005
Summary：

【課題】本発明は、ガラス基板のマスク部及び成膜部との温度差を低減し、基板割れの生じにくい基板トレイを提供することを目的とする。【解決手段】成膜装置の内部に、基板を保持して搬送され、薄膜材料源と対向して配置される基板トレイであって、薄膜材料粒子が通過する開口を有するトレイと基板との間に、所定の形状に薄膜を形成するためのマスクを配置する構成とし、該マスクの両表面の放射率を0.2以上としたことを特徴とする。また、前記マスク両表面に凹凸を形成したことを特徴とする。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

成膜装置の内部に、基板を保持して搬送され、薄膜材料源と対向して配置される基板トレイであって、薄膜材料粒子が通過する開口を有するトレイと基板との間に、所定の形状に薄膜を形成するためのマスクを配置する構成とし、該マスクの両表面の放射率を0.2以上としたことを特徴とする基板トレイ。

IPC (1)：

C23C14/50

FI (1)：

C23C14/50 K

F-Term (11)：

4K029AA09 , 4K029AA24 , 4K029BA43 , 4K029CA01 , 4K029DB21 , 4K029HA02 , 4K029HA03 , 4K029JA01 , 5C027AA07 , 5C040GE09 , 5C040JA07

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

基板構造体の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-334832 Applicant：キヤノン株式会社

Cited by examiner (6)

基板の成膜装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-398387 Applicant：日本電気硝子株式会社
薄膜形成用マスク
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-070758 Applicant：株式会社村田製作所
耐食性モリブデン・マスク
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-012492 Applicant：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション

Show all

Return to Previous Page