検査装置用プローブおよびその製造法

Inventor： , , , , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：井上学
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005251767
Publication number (International publication number)：2007064812
Application date： Aug. 31, 2005
Publication date： Mar. 15, 2007
Summary：

【課題】本発明の目的は、カーボンナノチューブ付きカンチレバーを使用したAFM等による試料表面の観察で問題となっていたカーボンナノチューブの座屈,曲がりに起因する画像のノイズを解決し、安定したAFM画像を取得できるカンチレバーを提供することにある。また、それを用いたより高分解能のAFMを提供することにある。【解決手段】本発明は、カーボンナノチューブ付きカンチレバーにおいて、カンチレバーの先端付近でカーボンナノチューブに金属層を少なくとも相対する二方向から堆積させたカーボンナノチューブ付きカンチレバーと、その製造法にある。その結果、カーボンナノチューブ探針の露出長さを制御し、カーボンナノチューブの試料接触時の座屈を防止できる。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

検査装置に固定される基部と、基部より突出して形成されたカンチレバーと、カンチレバーの先端に固定された探針とを有する検査装置用プローブであって、前記探針は、カーボンナノチューブであり、前記探針は試料が固定される方向に突出する状態で、少なくとも二方向より金属層によって固定されていることを特徴とする検査装置用プローブ。

IPC (3)：

G01N 13/16 , B82B 1/00 , G12B 21/08

FI (3)：

G01N13/16 C , B82B1/00 , G12B1/00 601D

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (6)

特許3441396号公報
特許3441397号公報
集束イオンビーム加工による走査型顕微鏡用プローブ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-403560 Applicant：中山喜萬, 大研化学工業株式会社, セイコーインスツルメンツ株式会社

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Cited by examiner (10)

ナノチューブプローブ及び製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-315231 Applicant：中山喜萬, 大研化学工業株式会社
走査型プローブ顕微鏡用探針
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-342286 Applicant：セイコーインスツルメンツ株式会社
ナノチューブを用いた探針
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-142836 Applicant：独立行政法人産業技術総合研究所

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