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J-GLOBAL ID:200903024505415134
ホローカソード
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (4):
大城 重信
, 加藤 雅夫
, 山田 益男
, 佐藤 文男
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002335618
Publication number (International publication number):2004169606
Application date: Nov. 19, 2002
Publication date: Jun. 17, 2004
Summary:
【課題】放電容器内に生成される内部プラズマが外部プラズマにつながるときの通路となるオリフィスが形成されているオリフィス板から、放電容器等の外側への熱流出を抑制して熱設計上の諸問題を解消するホローカソードを提供する。【解決手段】ヒータ9を有する中空状のカソードチューブ32には電子源としてのカソードインサート1が挿入されており、カソードインサート1の空洞部2にはガス導入系によって導かれた作動ガスを電離させて内部プラズマが形成される。内部プラズマは、カソードチューブ32の先端部に取り付けられているオリフィス板30に形成されたオリフィス7から放出される。オリフィス板30の下流側には低輻射率材料からなる1枚(又は複数枚)の熱流量調整板41が設けられており、オリフィス板30から放電容器等の外側への熱流出が抑制される。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
ヒータを有する中空状のカソードチューブと、前記カソードチューブの先端部に取り付けられたオリフィスを有するオリフィス板と、前記カソードチューブに挿入され空洞部を持つ電子源としてのカソードインサートと、前記カソードチューブの内部に作動ガスを導入するガス導入系と、前記ガス導入系によって導かれた作動ガスを電離させて前記カソードインサートの前記空洞部内にプラズマを生成する手段とを有するホローカソードにおいて、前記オリフィス板の下流側に低輻射率材料からなる1枚又は複数枚の熱流量調整板が設けられていることを特徴とするホローカソード。
IPC (1):
FI (1):
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (8)
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引出し電極およびイオンビーム処理装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-177766
Applicant:株式会社日立製作所
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特開昭57-107539
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イオン源
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-266545
Applicant:株式会社日立製作所
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特開平1-309241
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特開平1-169857
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イオン源およびイオン引き出し電極
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-017696
Applicant:株式会社シンクロン
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イオンエンジン
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-337113
Applicant:科学技術庁航空宇宙技術研究所長, 株式会社東芝
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イオン源およびそれを用いたイオン注入装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-087612
Applicant:日新電機株式会社
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