フラッシュ気化器

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：山本秀策
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1998534391
Publication number (International publication number)：2001507757
Application date： Dec. 31, 1997
Publication date： Jun. 12, 2001
Summary：

【要約】試薬をフラッシュ気化させる装置および方法である。気化チャンバ(12)がドーム(40)を収容し、ドーム上で気化が行われる。ドーム(40)は固体であり、高い熱伝導性および熱的容量からなり、特定の試薬を気化させるのに十分な温度にまで加熱され得る。試薬は、外部ソースからドーム(40)へとノズル(80)を介して供給され、連続するストリームとして、シャワーとして、および不連続の液滴として供給され得る。キャリヤガスが気化チャンバ(12)内に導入され、気化チャンバ内部に渦流を生成する。気化後、ガス蒸気は調整バルブ(34)を介して気化チャンバ(12)から反応チャンバへと除去され得る。本発明の別の実施形態は、試薬を個別に受け取る、ならびに異なる成分からなる試薬を受け取り得る複数の気化ドーム(40)を含む。

Claim (excerpt)：

試薬をフラッシュ気化するための装置であって、該装置は、 a)内部に気化チャンバを部分的に規定するハウジングと、 b)該チャンバ内に挿入可能である気化ドームであって、実質的に固体である外部側壁を有し、且つ、良好な熱伝導材料からなる気化ドームと、 c)該気化ドームを加熱するための内部ヒータと、 d)該ハウジング上に配置された上フランジであって、気化チャンバの上部チャンバ境界線を規定し、試薬を受け取るための流入口を有し、温度センサのための流入口を有する上フランジと、 e)該試薬を該気化ドーム表面に付与するための流体流入口と流体連通するノズルと、を含む装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (8)

液体原料気化装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-148541 Applicant：株式会社荏原製作所
液体原料気化装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-355576 Applicant：株式会社荏原製作所
特開平8-349747

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