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J-GLOBAL ID：200903025510977066

ケミカルメカニカルポリッシングのための三次元ネットワーク

Inventor：
グレゴリー・ピー・ムルダウニー

About グレゴリー・ピー・ムルダウニー


Applicant, Patent owner：
ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ シーエムピー ホウルディングス インコーポレイテッド

About ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ シーエムピー ホウルディングス インコーポレイテッド


Agent (3)： 津国 肇 ,  束田 幸四郎 ,  齋藤 房幸
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007035702
Publication number (International publication number)：2007260893
Application date： Feb. 16, 2007
Publication date： Oct. 11, 2007
Summary：
【課題】磁性、光学および半導体基材のメミカルメカニカルポリッシングに有用な研磨構造を有するパッドを導出する。【解決手段】研磨パッドは相互結合した単位格子225の三次元ネットワークを含む。相互結合した単位格子225は、流体の移動および研磨くずの除去を可能とするために網目状になっている。複数の研磨要素208が、相互結合した単位格子225の三次元ネットワークを形成する。研磨要素208は、第一結合部209で第一の隣接する研磨要素に結合する第一端および第二結合部209で第二の隣接する研磨要素に結合する第二端を有するとともに、断面積222が第一結合部と第二結合部209との間において30%以内に維持される。複数の研磨要素208から形成される研磨面200は、複数回の研磨運転にわたって一貫した状態を維持する。【選択図】図2A
Claim (excerpt)：
研磨媒体の存在下で磁性、光学および半導体基材の少なくとも一つを研磨するのに有用な研磨パッドであって、: a)相互結合した単位格子が流体流動および研磨くずの除去を可能にするために網目状である、相互結合した単位格子の三次元ネットワークと; b)相互結合した単位格子が少なくとも三個の単位格子の高さを有し、研磨要素が第一結合部で第一の隣接する研磨要素と結合する第一端および第二結合部で第二の隣接する研磨要素と結合する第二端を有し、ならびに第一結合部と第二結合部との間において断面積が30%以内に維持される、相互結合した単位格子の三次元ネットワークを形成する複数の研磨要素と; c)研磨面と平行な平面上で測定した表面積が、複数回の研磨運転にわたって一貫している、複数の研磨要素から形成される研磨面と を含む研磨パッド。
IPC (2)：
B24B 37/00 ,  H01L 21/304
FI (2)：
B24B37/00 C ,  H01L21/304 622F
F-Term (8)：
3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058AA19 ,  3C058CB01 ,  3C058CB03 ,  3C058CB04 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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