薄膜圧電素子及び薄膜圧電素子の製造方法

Inventor： , , , , , , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (7)：三好秀和 , 岩▲崎▼ 幸邦 , 川又澄雄 , 中村友之 , 伊藤正和 , 高橋俊一 , 高松俊雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005007850
Publication number (International publication number)：2005244184
Application date： Jan. 14, 2005
Publication date： Sep. 08, 2005
Summary：

【課題】圧電膜の電気機械結合係数の向上が可能な薄膜圧電素子を提供する。【解決手段】基板11上の非晶質金属膜22と、非晶質金属膜22の上で、非晶質金属膜22表面に垂直な方向に配向した圧電膜15とを備える。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

基板上の非晶質金属膜と、前記非晶質金属膜の上で、前記非晶質金属膜表面に垂直な方向に配向した圧電膜とを備えることを特徴とする薄膜圧電素子。

IPC (6)：

H01L41/09 , H01L41/18 , H01L41/22 , H01L41/24 , H03H3/02 , H03H9/17

FI (6)：

H01L41/08 L , H03H3/02 B , H03H9/17 F , H01L41/18 101Z , H01L41/22 Z , H01L41/22 A

F-Term (7)：

5J108AA07 , 5J108BB07 , 5J108BB08 , 5J108CC11 , 5J108KK01 , 5J108KK02 , 5J108MM11

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

音響共振器とその製作方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-154956 Applicant：ヒューレット・パッカード・カンパニー
薄膜共振器装置およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-226698 Applicant：ルーセントテクノロジーズインコーポレイテッド

Cited by examiner (12)

弾性表面波素子およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-251043 Applicant：株式会社日本製鋼所, 株式会社ケンウッド
特開昭62-156265
インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-151322 Applicant：カシオ計算機株式会社

Show all

Return to Previous Page