Pat
J-GLOBAL ID:200903026421299999
TFTアレイ基板およびこれを用いた液晶表示装置
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
大岩 増雄
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000193453
Publication number (International publication number):2002014371
Application date: Jun. 27, 2000
Publication date: Jan. 18, 2002
Summary:
【要約】【課題】 製造工程における写真製版装置のアライメントずれに起因するショットムラやフリッカー等の表示不良が発生しないTFTアレイ基板を得る。【解決手段】 半導体層5およびこれに重なるドレイン配線6aのゲート電極2端を跨ぐ部分の幅を、薄膜トランジスタのチャネル幅15であるドレイン電極6の幅よりも狭く設けた。これにより、ゲート配線2、ドレイン電極6およびソース電極7をパターン形成する際に用いる写真製版装置のアライメントずれにより生じる各ショット間のゲート電極2とドレイン電極6の重なり面積の差が、従来のTFT構造(図8)よりも小さくなり、フィードスルー電圧のパラメーターであるゲート電極とドレイン電極の寄生容量の変動を低減できるため、ショットムラやフリッカー等の表示不良の発生を抑制できる。
Claim (excerpt):
絶縁性基板上に複数本形成されたゲート電極を備えたゲート配線、上記ゲート配線と交差する複数本のソース電極を備えたソース配線、上記ゲート電極上にゲート絶縁膜を介して設けられた半導体層と、この半導体層に接続された上記ソース電極及びドレイン電極よりなる薄膜トランジスタ、上記ドレイン電極から延びたドレイン配線に接続された画素電極を備えたTFTアレイ基板において、上記半導体層およびこれに重なる上記ドレイン配線の上記ゲート電極端を跨ぐ部分の幅を、上記薄膜トランジスタのチャネル幅である上記ドレイン電極幅よりも狭く設けたことを特徴とするTFTアレイ基板。
IPC (3):
G02F 1/1368
, G09F 9/30 338
, H01L 29/786
FI (4):
G09F 9/30 338
, G02F 1/136 500
, H01L 29/78 616 T
, H01L 29/78 618 C
F-Term (40):
2H092JA26
, 2H092JA29
, 2H092JA30
, 2H092JA32
, 2H092JA36
, 2H092JA42
, 2H092JA44
, 2H092JA46
, 2H092JB23
, 2H092JB38
, 2H092NA01
, 2H092NA23
, 5C094AA42
, 5C094BA03
, 5C094BA43
, 5C094CA19
, 5C094DA13
, 5C094EA04
, 5C094EA05
, 5C094EA07
, 5C094EB02
, 5C094ED02
, 5F110AA02
, 5F110AA30
, 5F110CC07
, 5F110EE04
, 5F110EE44
, 5F110FF30
, 5F110GG23
, 5F110GG26
, 5F110GG45
, 5F110HK04
, 5F110HK33
, 5F110HL07
, 5F110HM02
, 5F110HM05
, 5F110NN02
, 5F110NN24
, 5F110NN72
, 5F110QQ09
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (19)
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液晶表示装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-194518
Applicant:株式会社日立製作所
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特開平2-285326
-
薄膜トランジスタおよびそれを用いた表示装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-081815
Applicant:株式会社東芝
-
特開平2-018967
-
特開昭63-005378
-
薄膜トランジスタおよびそれを備えた液晶表示装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-372182
Applicant:株式会社フロンテック
-
表示素子基板用半導体装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-317343
Applicant:ソニー株式会社
-
薄膜トランジスタおよび液晶表示装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-133690
Applicant:日本電気株式会社
-
半導体装置とアクティブマトリックス基板および液晶表示装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-239699
Applicant:株式会社日立製作所
-
液晶表示装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-084798
Applicant:株式会社日立製作所
-
特開昭62-291062
-
特開昭61-166172
-
特開昭64-082674
-
薄膜トランジスタ及びそれを用いた表示装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-177113
Applicant:三洋電機株式会社
-
薄膜トランジスタ及びそのアレイ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-184245
Applicant:三洋電機株式会社, 鳥取三洋電機株式会社
-
液晶表示装置及びその修復方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-252126
Applicant:富士通株式会社
-
特開平2-010331
-
特開平1-282523
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特開昭63-202719
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