配向膜評価装置および配向膜評価方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：則近憲佑
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994257779
Publication number (International publication number)：1996122785
Application date： Oct. 24, 1994
Publication date： May. 17, 1996
Summary：

【要約】【目的】本発明では、配向膜を形成された基板に対しS偏光状態に偏光した光を反射させることにより配向膜の光吸収を測定する装置において、基板も偏光状態をも回転することなしに、配向膜の2色差を高感度に測定することにより配向膜の配向性を高精度に評価することが可能な配向膜評価装置の提供を目的とする。【構成】赤外光を放出する放出手段1と、この放出手段から放出された赤外光を偏光させる偏光手段4と、前記偏光を2光路に分割する分割手段5と、2光路に分割されたそれぞれの偏光を前記配向膜に照射する照射手段6および7と、前記配向膜を透過した前記それぞれの直線偏光を検出する検出手段14と、この検出手段で検出された赤外光から配向膜の各々の偏光方向での吸光度の差を求め前記配向膜の配向能を評価する評価手段を有する配向膜評価装置である。

Claim (excerpt)：

赤外光を放出する放出手段と、この放出手段から放出された赤外光を偏光させる偏光手段と、前記偏光を2光路に分割する分割手段と、2光路に分割されたそれぞれの偏光を配向膜に照射する照射手段と、前記配向膜を透過した前記それぞれの偏光を検出する検出手段とを有することを特徴とする配向膜評価装置。

IPC (4)：

G02F 1/1337 500 , G01M 11/00 , G01N 21/21 , G02B 5/30

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

液晶表示装置とその配向膜の特性評価方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-005049 Applicant：株式会社日立製作所, 日立デバイスエンジニアリング株式会社
空間光変調素子の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-341470 Applicant：松下電器産業株式会社
液晶セルの特性測定方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-071745 Applicant：小林駿介, 木村宗弘, スタンレー電気株式会社

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