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J-GLOBAL ID：200903027289959328

ステージ装置、露光装置、デバイスの製造方法

Inventor：
井上 剛志

About 井上 剛志

, 
蛯原 明光

About 蛯原 明光


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (4)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  青山 正和 ,  西 和哉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005309778
Publication number (International publication number)：2007123332
Application date： Oct. 25, 2005
Publication date： May. 17, 2007
Summary：
【課題】省スペースかつ接続ケーブルの断線の虞がない位置検出系を有するステージ装置を提供する。 【解決手段】ステージ装置50は、ベース59と、ベース59に対して所定方向に移動可能な移動テーブル52,54と、ベース59に設けられ所定方向に沿って配置されたリニアスケール81と、移動テーブル52,54とに設けられリニアスケール81と対向するように配置されてリニアスケール81の読取を行う読取ヘッド82と、リニアスケール81に沿って配置された電力供給装置71と、移動テーブル52,54とに設けられ電力供給装置71から読取ヘッド82の作動に用いる電力を非接触で受給する電力受給装置76と、読取ヘッド82がリニアスケール81から読み取った読取情報に基づいて移動ステージ52,54との位置決め制御を行う制御部と、を備える。 【選択図】図2
Claim (excerpt)：
ベースと、 前記ベースに対して所定方向に移動可能な移動テーブルと、 前記ベースに設けられ前記所定方向に沿って配置されたリニアスケールと、 前記移動テーブルに設けられ前記リニアスケールと対向するように配置されて前記リニアスケールの読取を行う読取ヘッドと、 前記リニアスケールに沿って配置された電力供給装置と、 前記移動テーブルに設けられ前記電力供給装置から前記読取ヘッドの作動に用いる電力を非接触で受給する電力受給装置と、 前記読取ヘッドが前記リニアスケールから読み取った読取情報に基づいて前記移動ステージの位置決め制御を行う制御部と、 を備えることを特徴とするステージ装置。
IPC (2)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20
FI (3)：
H01L21/30 516B ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 515G
F-Term (3)：
5F046BA03 ,  5F046CC01 ,  5F046CC17
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
  • 露光装置及び露光方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-210913   Applicant：株式会社ニコン
Cited by examiner (6)
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