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J-GLOBAL ID：200903027746471859

加速度センサ

Inventor：
塚原 靖典

About 塚原 靖典

, 
糸魚川 貢一

About 糸魚川 貢一


Applicant, Patent owner：
株式会社東海理化電機製作所

About 株式会社東海理化電機製作所


Agent (2)： 恩田 博宣 ,  恩田 誠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004254405
Publication number (International publication number)：2006071419
Application date： Sep. 01, 2004
Publication date： Mar. 16, 2006
Summary：
【課題】製造コストを低減できると共に、ゲル状組成物の体積変化があっても検出精度を維持できる加速度センサを提供する。【解決手段】基板15の載置面15aに接合される台座12と、台座12に接合され撓み可能なセンサ部材13と、センサ部材13の撓み量を検出する歪みゲージ17とを備えた加速度センサ11において、センサ部材13は、センサ部材13の外枠を形成すると共に台座12に接合された枠部13aと、重りとして機能するマス部13bと、センサ部材13に貫通孔16が形成されていることにより相対的に形成されると共に枠部13aとマス部13bとを連結する梁部13cとを備え、歪みゲージ17は、梁部13cの撓み量を検出し、センサ部材13と台座12とがなす空間S1に充填されたシリコーンゲル14を備えた。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
基板の載置面に接合される台座と、 前記台座に接合され撓み可能なセンサ部材と、 前記センサ部材の撓み量を検出する撓み検出手段とを備えた加速度センサにおいて、 前記センサ部材は、前記センサ部材の外枠を形成すると共に前記台座に接合された枠部と、重りとして機能するマス部と、該センサ部材に貫通孔が形成されていることにより相対的に形成されると共に前記枠部と前記マス部とを連結する梁部とを備え、 前記撓み検出手段は、前記梁部の撓み量を検出し、 前記センサ部材と前記台座とがなす空間に、又は前記センサ部材と前記基板とがなす空間に充填されたゲル状組成物を備えたことを特徴とする加速度センサ。
IPC (1)：
G01P 15/02
FI (1)：
G01P15/02 A
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
  • 半導体加速度センサ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-313550   Applicant：株式会社フジクラ
Cited by examiner (9)
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