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J-GLOBAL ID：200903029065067874

透明導電性酸化物薄膜を有する物品及びその製造方法

Inventor： 森田 清 ,  太田 裕道 ,  細野 秀雄 ,  川副 博司
Applicant, Patent owner： ホーヤ株式会社
Agent (1)： 塩澤 寿夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998208948
Publication number (International publication number)：2000044236
Application date： Jul. 24, 1998
Publication date： Feb. 15, 2000
Summary：

【要約】【課題】 資源環境負荷の高いIn2O3の含有量を低く抑えることができ、室温付近の温度で容易に作製することができ、低抵抗かつ光学吸収端が紫外域にあり、青色透過性に優れた新規な透明導電体材料、その製造方法及びこの材料を用いた電極を提供すること。【解決手段】基材の少なくとも一方の表面の少なくとも一部に、一般式ZnxMyInzO(x+3y/2+3z/2)(式中、Mはアルミニウム及びガリウムのうち少なくとも一つの元素であり、比率x/yが0.2〜12の範囲であり、比率z/yが0.4〜1.4の範囲にある)で表される非晶質酸化物を含有する膜または上記非晶質酸化物に陽イオンを注入した膜を有する物品、この物品の製造方法及びこの物品からなる電極。

Claim (excerpt)：

基材の少なくとも一方の表面の少なくとも一部に、一般式ZnxMyInzO(x+3y/2+3z/2)(式中、Mはアルミニウム及びガリウムのうち少なくとも一つの元素であり、比率x/yが0.2〜12の範囲であり、比率z/yが0.4〜1.4の範囲にある)で表される非晶質酸化物を含有する膜を有することを特徴とする物品。

IPC (4)：

C01G 15/00 ,  G02F 1/1343 ,  H01B 5/14 ,  H01B 13/00 503

FI (4)：

C01G 15/00 B ,  G02F 1/1343 ,  H01B 5/14 A ,  H01B 13/00 503 B

F-Term (16)：

2H092HA04 ,  2H092MA05 ,  2H092MA23 ,  2H092MA30 ,  2H092NA25 ,  2H092PA01 ,  5G307FA01 ,  5G307FA02 ,  5G307FB01 ,  5G307FC09 ,  5G307FC10 ,  5G323BA02 ,  5G323BB05 ,  5G323BB06 ,  5G323BC02 ,  5G323BC03

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

• 導電性酸化物およびそれを用いた電極
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-065840   Applicant：ホーヤ株式会社
• 導電性材料およびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-315086   Applicant：出光興産株式会社
• 非晶質透明導電膜
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-095568   Applicant：旭硝子株式会社
• 導電性透明基材の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-132255   Applicant：出光興産株式会社
• 導電性透明基材およびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-315075   Applicant：出光興産株式会社
• 亜鉛-インジウム酸化物を含む透明導電体及び薄膜の作製方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-287751   Applicant：エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション
• 導電性酸化物およびそれを用いた電極
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-101321   Applicant：ホーヤ株式会社