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J-GLOBAL ID：200903029143965841

アクティブ除振装置

Inventor：
守安 信夫

About 守安 信夫


Applicant, Patent owner：
倉敷化工株式会社

About 倉敷化工株式会社


Agent (12)： 前田 弘 ,  小山 廣毅 ,  竹内 宏 ,  嶋田 高久 ,  竹内 祐二 ,  今江 克実 ,  藤田 篤史 ,  二宮 克也 ,  原田 智雄 ,  井関 勝守 ,  関 啓 ,  杉浦 靖也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005282139
Publication number (International publication number)：2006283966
Application date： Sep. 28, 2005
Publication date： Oct. 19, 2006
Summary：
【課題】空気ばね20をアクチュエータとして利用して、除振対象物の振動を減殺するようにした空気ばねユニット2において、除振対象物が大型化しても空気の消費量の著しい増大を招くことなく、従来までと同様の高応答、高精度の振動制御を可能としながら、従来以上に高速の位置制御を可能とする。【解決手段】加速度センサ31により定盤3など除振対象物の振動状態を検出し、これをフィードバックしてサーボ弁34を制御することにより、空気ばね20の内圧を変更して除振対象物にその振動を減殺する制御力を付加する。前記除振対象物の基礎に対する相対高さの変化を変位センサ32により検出し、これをフィードバックして電磁比例弁35を制御することにより、除振対象物の高さが基準位置に近づくように空気ばね20の内圧を調整する。双方の空気圧制御が相互に補完し合うことで、制御の応答性及び安定性の両立が図られる。【選択図】 図2
Claim (excerpt)：
除振対象物を基礎に対し気体ばねで支持するとともに、該除振対象物の振動状態を検出するための振動センサと、前記気体ばねの圧力を調整するためのサーボ弁とを備え、このサーボ弁を前記振動センサからの信号に基づいて制御することにより、前記気体ばねの内圧を変更して、前記除振対象物にその振動を減殺する制御力を付加するようにしたアクティブ除振装置であって、 前記除振対象物の基礎に対する高さ位置を検出するための位置センサと、 前記気体ばねにその内圧を調整可能に接続された電磁比例弁と、 前記電磁比例弁を前記位置センサからの信号に基づいて制御することにより、前記除振対象物の基準位置からの変位が小さくなるように前記気体ばねの内圧を調整する変位制御手段と、を備えることを特徴とするアクティブ除振装置。
IPC (3)：
F16F 15/02 ,  F16F 9/04 ,  H01L 21/027
FI (3)：
F16F15/02 A ,  F16F9/04 ,  H01L21/30 503F
F-Term (20)：
3J048AB07 ,  3J048AB08 ,  3J048AB09 ,  3J048AB11 ,  3J048AD03 ,  3J048BE02 ,  3J048CB01 ,  3J048CB13 ,  3J048DA01 ,  3J048EA13 ,  3J069AA01 ,  3J069AA13 ,  3J069AA21 ,  3J069AA31 ,  3J069DD13 ,  3J069EE01 ,  3J069EE61 ,  5F046AA23 ,  5F046DB10 ,  5F046DC14
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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Cited by examiner (5)
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