微細構造体製造用金型の製造方法および微細構造体の製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：深見久郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996201960
Publication number (International publication number)：1998050576
Application date： Jul. 31, 1996
Publication date： Feb. 20, 1998
Summary：

【要約】【課題】いわゆるLIGA法により微細構造体を形成する際し、金型の破壊を防止し、微細構造体の生産効率を向上させる。【解決手段】基板1上にリソグラフィのための樹脂層2を形成する。樹脂層2にマスク3を介してシンクロトロン放射光10を照射する。照射において、シンクロトロン放射光のマスク3を介する回折光10bが、樹脂層2に十分照射されるよう、マスク3と樹脂層2との間に所定の間隔dを設ける。回折光を伴う露光により、基板1から遠ざかるに従い開口面積が大きくなった孔または溝2′aがレジストパターン2′に形成される。レジストパターン2′上に金属5を堆積させ、金型5′を得る。金型5′を用いて微細構造体を形成する。

Claim (excerpt)：

微細構造体の製造において前記微細構造体の型となる樹脂成形体を調製するために用いられる金型の製造方法であって、基板上にリソグラフィのための樹脂材料からなる層を形成する工程と、前記樹脂材料からなる層にパターン形成のためのマスクを介してシンクロトロン放射によるX線を照射する工程と、前記樹脂材料からなる層を現像して露光された部分を除去する工程と、現像によりパターン形成された樹脂材料上に金属材料を堆積させる工程と、前記樹脂材料を除去して前記パターン形成された樹脂材料の形状が転写された前記金属材料からなる型を得る工程とを備え、前記シンクロトロン放射によるX線を照射する工程は、前記シンクロトロン放射光の前記マスクを介する回折光が前記樹脂材料からなる層に十分照射されるよう、前記マスクと前記樹脂材料からなる層との間に所定の間隔を設ける工程を備え、前記回折光を伴う露光により前記樹脂材料において前記基板から遠ざかるに従い開口面積が大きくなった孔または溝が得られることを特徴とする、微細構造体製造用金型の製造方法。

IPC (3)：

H01L 21/027 , G21K 1/06 , H01L 41/22

FI (3)：

H01L 21/30 531 Z , G21K 1/06 D , H01L 41/22 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (10)

特開平3-085719
特開平4-348030
X線露光法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-183454 Applicant：株式会社日立製作所

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Cited by examiner (10)

微細構造体の形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-340180 Applicant：住友電気工業株式会社
特開昭59-084529
特開平4-348030

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