感放射線性樹脂組成物

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：福沢俊明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997281078
Publication number (International publication number)：1999109613
Application date： Sep. 30, 1997
Publication date： Apr. 23, 1999
Summary：

【要約】【課題】 0.2μm以下の微細パターンにおいて、特にエッジラフネスが小さく、しかも高感度かつ高解像度な化学増幅型レジストとして有用なポジ型またはネガ型の感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】ポジ型感放射線性樹脂組成物は、(A)レジスト用溶剤に可溶なフラーレン誘導体、(B)感放射線性酸発生剤、並びに(C)(イ)酸解離性基含有樹脂、または(ロ)アルカリ可溶性樹脂およびアルカリ溶解性制御剤を含有し、ネガ型感放射線性樹脂組成物は、前記(A)成分、前記(B)成分、(D)アルカリ可溶性樹脂、および(E)酸の存在下でアルカリ可溶性樹脂を架橋しうる化合物を含有する。

Claim (excerpt)：

(A)レジスト用溶剤に可溶なフラーレン誘導体、(B)感放射線性酸発生剤、並びに(C)(イ)酸解離性基で保護されたアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂であって、該酸解離性基が解離したときにアルカリ可溶性となる樹脂、または(ロ)アルカリ可溶性樹脂およびアルカリ溶解性制御剤を含有することを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。

IPC (7)：

G03F 7/004 503 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 515 , G03F 7/038 601 , G03F 7/039 601 , H01L 21/027 , C08L101/00

FI (7)：

G03F 7/004 503 A , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 515 , G03F 7/038 601 , G03F 7/039 601 , C08L101/00 , H01L 21/30 502 R

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

フラーレン含有レジスト材料を用いたデバイス作製プロセス
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-051493 Applicant：エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション
感光材料
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-196572 Applicant：日本石油株式会社
感光材料組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-343296 Applicant：日本石油株式会社

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