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J-GLOBAL ID:200903037413580664

無蒸発ゲッタ合金

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 石田 敬 (外3名)
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2002500780
Publication number (International publication number):2003535218
Application date: May. 28, 2001
Publication date: Nov. 25, 2003
Summary:
【要約】ジルコニウムと、バナジウムと、鉄と、マンガンと、イットリウムとランタンと希土類元素との中から選択された1種またはそれ以上の元素と、を含む無蒸発ゲッタ合金が記載され、この合金は、既知のゲッタ合金に比較して、特に窒素に対して改良されたガス吸着特性を有する。
Claim (excerpt):
窒素に対して特に高ガス吸着効率を備える無蒸発ゲッタ合金であって、 ジルコニウムと、バナジウムと、鉄と、マンガンと、イットリウムとランタンと希土類元素との中から選択された少なく1種の元素とを含み、 次の範囲内で変化しうる元素組成wt%で、 60〜85%のジルコニウム 2〜20%のバナジウム 0.5〜10%の鉄 2.5〜30%のマンガン、及び 1〜6%のイットリウム、ランタン、希土類元素またはそれらの混合物、を含む無蒸発ゲッタ合金。
IPC (2):
C22C 16/00 ,  H01J 7/18
FI (2):
C22C 16/00 ,  H01J 7/18
F-Term (2):
5C235JJ10 ,  5C235JJ11
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
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