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J-GLOBAL ID:200903037413580664
無蒸発ゲッタ合金
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
石田 敬 (外3名)
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2002500780
Publication number (International publication number):2003535218
Application date: May. 28, 2001
Publication date: Nov. 25, 2003
Summary:
【要約】ジルコニウムと、バナジウムと、鉄と、マンガンと、イットリウムとランタンと希土類元素との中から選択された1種またはそれ以上の元素と、を含む無蒸発ゲッタ合金が記載され、この合金は、既知のゲッタ合金に比較して、特に窒素に対して改良されたガス吸着特性を有する。
Claim (excerpt):
窒素に対して特に高ガス吸着効率を備える無蒸発ゲッタ合金であって、 ジルコニウムと、バナジウムと、鉄と、マンガンと、イットリウムとランタンと希土類元素との中から選択された少なく1種の元素とを含み、 次の範囲内で変化しうる元素組成wt%で、 60〜85%のジルコニウム 2〜20%のバナジウム 0.5〜10%の鉄 2.5〜30%のマンガン、及び 1〜6%のイットリウム、ランタン、希土類元素またはそれらの混合物、を含む無蒸発ゲッタ合金。
IPC (2):
FI (2):
F-Term (2):
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
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特開平4-233125
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有害ガスの浄化方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-287535
Applicant:日本パイオニクス株式会社
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車両用空調装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-334004
Applicant:株式会社デンソー
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物理的蒸着プロセスにおける作業雰囲気を高純度化するためのゲッタシステム
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-364353
Applicant:サエス・ゲテルス・ソチエタ・ペル・アチオニ
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水素化物ガスから不純物を除去する方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-197272
Applicant:サエス・ゲテルス・ソチエタ・ペル・アチオニ
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フライホイール装置及びその運転方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-251455
Applicant:高橋勲, 関西電力株式会社, 三菱電機株式会社
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特開昭59-180081
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