ナノ結晶複合酸化物薄膜と、これを具備した環境ガスセンサー及び環境ガスセンサーの製造方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：谷義一 , 阿部和夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008219622
Publication number (International publication number)：2009139362
Application date： Aug. 28, 2008
Publication date： Jun. 25, 2009
Summary：

【課題】異種の酸化物ナノ結晶粒子からなる環境ガスセンサー用複合酸化物薄膜を提供する。【解決手段】本発明に係る環境ガスセンサー用ナノ結晶複合酸化物薄膜は、互いに独立された結晶相を有する異種の酸化物ナノ結晶粒子からなる複合酸化物薄膜とこれを利用した環境有害ガス検知のための静電容量型ガスセンサを提供する。前記酸化物は、ABO3型ペロブスカイト酸化物、ZnO、CuO、NiO,SnO2、TiO2、CoO2、In2O3,WO3,MgO,CaO,La2O3,Nd2O3,Y2O3,CeO2,PbO,ZrO2,Fe2O3,Bi2O3,V2O5,Vo2,Nb2O5,Co3O4及びAl2O3よりなる群から少なくとも2種類以上が選択され、酸化物ナノ結晶粒子は、直径が1nm及至100nmである。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

互いに独立された結晶相を有する異種の酸化物ナノ結晶粒子からなる環境ガスセンサー用ナノ結晶複合酸化物薄膜。

IPC (1)：

G01N 27/22

FI (1)：

G01N27/22 A

F-Term (10)：

2G060AA01 , 2G060AE19 , 2G060AF10 , 2G060AG06 , 2G060AG08 , 2G060AG10 , 2G060AG15 , 2G060BA01 , 2G060BA09 , 2G060JA01

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

米国特許第6,134,946号明細書
米国特許第7,070,829号明細書

Cited by examiner (9)

誘導吸収材料
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-050729 Applicant：独立行政法人産業技術総合研究所
特開昭58-044339
レーザーアブレーションによる複合酸化物ナノ微結晶薄膜の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-066289 Applicant：独立行政法人産業技術総合研究所

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