レーザ欠陥検出機能を備えた走査型電子顕微鏡におけるCCDカメラ自動切替方式

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：坂上正明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001184696
Publication number (International publication number)：2003004653
Application date： Jun. 19, 2001
Publication date： Jan. 08, 2003
Summary：

【要約】【課題】本発明の課題は、レーザ欠陥検出を行う高感度CCDカメラを備えた走査型電子顕微鏡において、高感度CCDを稼動させる際に、比較的大きな異物等からの強い散乱光を受光することにより安全装置が作動して頻繁にその稼動を停止させてしまうことがないシステムを構築して作業効率を向上させることにある。【解決手段】本発明のレーザ欠陥検出機能を備えた走査型電子顕微鏡におけるCCDカメラ自動切替方式は、欠陥位置にレーザを斜め上方から照射するレーザ光学系と欠陥からの散乱光を観察する光学顕微鏡を備えたウエハ表面観察用走査型電子顕微鏡において、光学顕微鏡に高感度用と標準タイプのCCDカメラを取付け、予め測定された欠陥位置情報に基いて光学軸を位置決めして光学顕微鏡の標準CCDカメラで欠陥観察を行うステップと、該標準CCDカメラで欠陥観察を観察出来なかった際には高感度CCDカメラに切替えて欠陥観察を行うステップを踏む手法を採用した。

Claim (excerpt)：

欠陥位置にレーザを斜め上方から照射するレーザ光学系と欠陥からの散乱光を観察する光学顕微鏡を備えたウエハ表面観察用走査型電子顕微鏡において、光学顕微鏡に高感度用と標準タイプのCCDカメラを取付け、予め測定された欠陥位置情報に基いて光学軸を位置決めして光学顕微鏡の標準CCDカメラで欠陥観察を行うステップと、該標準CCDカメラで欠陥観察を観察出来なかった際には高感度CCDカメラに切替えて欠陥観察を行うステップを踏むことを特徴とするレーザ欠陥検出機能を備えた走査型電子顕微鏡におけるCCDカメラ自動切替方法。

IPC (4)：

G01N 21/956 , G01N 23/225 , H01J 37/22 502 , H04N 7/18

FI (4)：

G01N 21/956 A , G01N 23/225 , H01J 37/22 502 L , H04N 7/18 B

F-Term (31)：

2G001AA03 , 2G001AA07 , 2G001AA10 , 2G001BA07 , 2G001BA14 , 2G001CA03 , 2G001CA07 , 2G001FA06 , 2G001GA04 , 2G001HA09 , 2G001HA13 , 2G001JA12 , 2G001KA04 , 2G001LA11 , 2G001MA05 , 2G001PA11 , 2G051AA51 , 2G051AB01 , 2G051BA01 , 2G051BA10 , 2G051CA03 , 2G051CA07 , 2G051CB05 , 2G051DA07 , 2G051EA14 , 2G051EB01 , 5C054CA06 , 5C054CD03 , 5C054FE02 , 5C054HA01 , 5C054HA05

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

表面分析装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-330064 Applicant：セイコーインスツルメンツ株式会社, 三菱電機株式会社
ダストセンサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-262961 Applicant：松下電工株式会社
物体上の欠陥を再検査する装置及び方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-219834 Applicant：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド

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