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J-GLOBAL ID：200903051288553091

外観検査方法および外観検査装置

Inventor：
岡 健次

About 岡 健次

, 
前田 俊二

About 前田 俊二

, 
野口 稔

About 野口 稔

, 
見坊 行雄

About 見坊 行雄


Applicant, Patent owner：
株式会社日立製作所

About 株式会社日立製作所


Agent (1)： 武 顕次郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998253934
Publication number (International publication number)：2000088563
Application date： Sep. 08, 1998
Publication date： Mar. 31, 2000
Summary：
【要約】【課題】 外観検査における欠陥分類時間を短縮することのできる技術を提供すること。【解決手段】 ステージ走査を用いて画像を検出する方式において、検査処理を行う低倍率な画像検出と同時に、欠陥分類に必要な高倍率の画像も検出可能な構成とすることで、検査終了後に欠陥部の画像を再検出することなく、効率のよい検査を可能とする。
Claim (excerpt)：
試料を相対的に走査しながら第1の検出条件で得られる検出信号を処理して欠陥を検知し、上記第1の検出条件とは異なる第2の検出条件で同時に得られる検出信号から、欠陥部の検出信号を抽出して保管することを特徴とする外観検査方法。
IPC (6)：
G01B 21/30 ,  G01N 21/88 ,  G03F 1/08 ,  G06T 7/00 ,  H01J 37/22 502 ,  H01L 21/66
FI (9)：
G01B 21/30 Z ,  G01N 21/88 J ,  G03F 1/08 S ,  H01J 37/22 502 Z ,  H01L 21/66 J ,  H01L 21/66 Z ,  G01N 21/88 630 A ,  G01N 21/88 645 Z ,  G06F 15/62 400
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (26)
  • 表面検査装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-193782   Applicant：株式会社リコー
  • 異物検査装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-133927   Applicant：株式会社島津製作所
  • プリント回路板アセンブリの検査装置及び方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-093622   Applicant：ヒューレット・パッカード・カンパニー
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Cited by examiner (26)
  • 表面検査装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-193782   Applicant：株式会社リコー
  • 異物検査装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-133927   Applicant：株式会社島津製作所
  • プリント回路板アセンブリの検査装置及び方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-093622   Applicant：ヒューレット・パッカード・カンパニー
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