ナノダイヤモンド膜及びその製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (6)：鈴江武彦 , 村松貞男 , 坪井淳 , 橋本良郎 , 河野哲 , 中村誠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002344066
Publication number (International publication number)：2004176132
Application date： Nov. 27, 2002
Publication date： Jun. 24, 2004
Summary：

【課題】種々の材質の基板上に低温で成膜可能な、ナノメートルオーダーの微細な結晶粒子からなる、表面が平滑なナノダイヤモンド膜およびその製造方法を提供すること。【解決手段】基体上に合成されて成り、結晶粒径が1nm以上、1000nm未満であるナノクリスタルダイヤモンドを主成分として含むことを特徴とする。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

基体上に合成された、結晶粒径が1nm以上、1000nm未満であるナノクリスタルダイヤモンドを主成分として含むことを特徴とするナノダイヤモンド膜。

IPC (4)：

C23C16/27 , B82B1/00 , B82B3/00 , C23C16/511

FI (4)：

C23C16/27 , B82B1/00 , B82B3/00 , C23C16/511

F-Term (15)：

4K030AA05 , 4K030AA09 , 4K030AA14 , 4K030BA28 , 4K030CA02 , 4K030CA04 , 4K030CA05 , 4K030CA06 , 4K030CA08 , 4K030CA12 , 4K030FA01 , 4K030JA01 , 4K030JA06 , 4K030JA10 , 4K030LA01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

ダイヤモンド状炭素薄膜の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-237870 Applicant：積水化学工業株式会社
針状表面を有するダイヤモンド、繊毛状表面を有する炭素系材料、その製造方法、それを使用した電極及び電子デバイス
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-205935 Applicant：株式会社神戸製鋼所
特開平1-246116

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