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J-GLOBAL ID：200903046035976944

光ディスク用スタンパーのダイレクトドライマスタリング方法とその装置

Inventor：
佐野 一彦

About 佐野 一彦


Applicant, Patent owner：
松下電器産業株式会社

About 松下電器産業株式会社


Agent (1)： 青山 葆 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000198784
Publication number (International publication number)：2001143332
Application date： Jun. 30, 2000
Publication date： May. 25, 2001
Summary：
【要約】【課題】 クリーン度管理がし易く、異物付着が低減できる光ディスク用スタンパーのダイレクトドライマスタリング方法及び装置を提供する。【解決手段】 ネガタイプフォトレジストを塗布した基板を回転させ、表面露光、加熱処理、ドライプロセスによる現像及びエッチング及びレジスト除去を連続して行い、基板表面に信号突起を形成し、スタンパーサイズに加工する。
Claim (excerpt)：
ネガタイプのフォトレジストのレジスト層を形成した基板を回転させ回転する上記基板の表面に、信号変調され記録レンズによって絞られたレーザビームを露光して露光部と未露光部とを形成し、その後、加熱処理、ドライプロセスによる現像、ドライプロセスによるエッチング、ドライプロセスによるレジスト除去を連続して行って、上記基板の表面に信号突起を形成した後、光ディスク用成形機の金型に合うスタンパーサイズに上記基板を加工して光ディスクのスタンパーを作製することを特徴とする光ディスク用スタンパーのダイレクトドライマスタリング方法。
IPC (2)：
G11B 7/26 501 ,  G11B 7/0045
FI (2)：
G11B 7/26 501 ,  G11B 7/0045 A
F-Term (14)：
5D090AA01 ,  5D090BB01 ,  5D090CC01 ,  5D090KK03 ,  5D121AA09 ,  5D121BB01 ,  5D121BB21 ,  5D121BB28 ,  5D121BB33 ,  5D121BB34 ,  5D121CA01 ,  5D121CA07 ,  5D121GG04 ,  5D121GG07
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (9)
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