液晶表示装置とその製造方法

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小野寺洋二 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997155238
Publication number (International publication number)：1999002843
Application date： Jun. 12, 1997
Publication date： Jan. 06, 1999
Summary：

【要約】【課題】下層配線のエッチング端部での絶縁膜等とのコンタクト特性が良好で、ステップカバレージが充分で、かつ基板との接着性を満足させ、上層配線の切断や下層配線との短絡の発生を防止して信頼性を向上させる。【解決手段】絶縁性基板1上に第1の金属層からなる第1層2Aと、第1の金属層とは異なる第2の金属層からなる第2層2Bを第1層2A上に形成してなる積層構造の配線を備え、第1層2Aの側端面が順テーパ形状を有し、第2層2Bの側端面が基板面に垂直な形状、または逆テーパ形状の何れかに形成する。

Claim (excerpt)：

絶縁性基板上に第1の金属層からなる第1層と、前記第1の金属層とは異なる第2の金属層からなる第2層を前記第1層上に形成してなる積層構造の配線を備え、前記第1層の側端面が順テーパ形状を有し、前記第2層の側端面が基板面に垂直な形状、または逆テーパ形状の何れかであることを特徴とする液晶表示装置。

IPC (2)：

G02F 1/136 500 , G02F 1/1343

FI (2)：

G02F 1/136 500 , G02F 1/1343

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

薄膜構造、及び薄膜構造形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-095119 Applicant：ゼロックスコーポレイション
特開平4-316024
薄膜トランジスタマトリクスおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-323510 Applicant：富士通株式会社

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