Pat
J-GLOBAL ID:200903048044762852
ポジ型感光性樹脂組成物及び半導体装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002065898
Publication number (International publication number):2002357898
Application date: Mar. 11, 2002
Publication date: Dec. 13, 2002
Summary:
【要約】【課題】 高解像度で高残膜率のパターンを得ることができ、かつ硬化後の皮膜特性として優れた機械特性、接着性、吸水性を有する高感度のポジ型感光性樹脂を提供する。【解決手段】 アルカリ可溶性樹脂100重量部、感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜100重量部、フィラー(C)の含有量Fが2〜70重量%、有機ケイ素化合物(D)1〜40重量部からなるポジ型感光性組成物である。また、上記の配合にフェノール化合物を含むポジ型感光性組成物である。
Claim (excerpt):
アルカリ可溶性樹脂100重量部、感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜100重量部、フィラー(C)の含有量F(下記式)が2〜70重量%、有機ケイ素化合物(D)1〜40重量部からなることを特徴とするポジ型感光性組成物。F=フィラー(g)/(アルカリ可溶性樹脂(g)+フィラー(g))
IPC (6):
G03F 7/022
, C08G 69/26
, G03F 7/004 501
, G03F 7/037
, G03F 7/075
, H01L 21/027
FI (6):
G03F 7/022
, C08G 69/26
, G03F 7/004 501
, G03F 7/037
, G03F 7/075
, H01L 21/30 502 R
F-Term (35):
2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AA04
, 2H025AA13
, 2H025AA14
, 2H025AB16
, 2H025AC01
, 2H025AD03
, 2H025BA03
, 2H025BE01
, 2H025CB25
, 2H025CB42
, 2H025CB45
, 2H025CC08
, 2H025CC20
, 2H025FA17
, 4J001DA01
, 4J001DB01
, 4J001DB05
, 4J001DC10
, 4J001DC14
, 4J001EB34
, 4J001EB44
, 4J001EB57
, 4J001EB58
, 4J001EB60
, 4J001EC54
, 4J001EC66
, 4J001EC67
, 4J001EC70
, 4J001EC81
, 4J001FB03
, 4J001FC06
, 4J001FD01
, 4J001JA20
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
-
半導体装置及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-117391
Applicant:住友ベークライト株式会社
-
感光性樹脂組成物およびパターン形成方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-126201
Applicant:株式会社関西新技術研究所
-
特開昭56-060432
-
ポジ型感光性樹脂組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-164472
Applicant:住友ベークライト株式会社
-
ポジ型感光性樹脂組成物及びそれを用いた半導体装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-348667
Applicant:住友ベークライト株式会社
-
ポジ型感光性樹脂組成物及び半導体装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-324405
Applicant:住友ベークライト株式会社
Show all
Return to Previous Page