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J-GLOBAL ID：200903049278151896

外観検査装置

Inventor：
森本 勉

About 森本 勉

, 
高松 弘行

About 高松 弘行


Applicant, Patent owner：
株式会社神戸製鋼所

About 株式会社神戸製鋼所


Agent (1)： 本庄 武男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998178418
Publication number (International publication number)：2000009655
Application date： Jun. 25, 1998
Publication date： Jan. 14, 2000
Summary：
【要約】【課題】 短時間で正確な外観検査が可能な外観検査装置を提供する。【解決手段】 光源2から照射され,ウェーハ1の表面で散乱反射した光をラインセンサ4で受光し,更にステージ10をX方向に移動させることによって上記ウェーハ1の全体画像をフレームメモリ7内に格納する。そしてその全体画像に画像処理を施すなどしてその位置,姿勢を検出し,予め検査領域が設定された基準座標系に一致するように位置合わせを行ったうえで,上記検査領域毎の光の強度の平均値を所定の閾値と比較することにより異常判断を行う。このように,ウェーハ全体の画像を取り込んだ上で,各検査領域毎に良/不良の判断処理を行うため,各検査領域毎に走査,判断処理を繰り返す場合と比べて検査に要する時間が大幅に短縮される。また,全体画像を取り込んだ上で,データ処理によって検査領域の位置合わせを行うことができるため,ウェーハを厳密に位置合わせする必要がなく,そのための装置も不要である。
Claim (excerpt)：
被検材の表面に光を照射する投光手段と,上記投光手段から発せられ,上記被検材の表面で散乱反射した光を受光する受光手段とを具備し,上記受光手段により受光された光の状態に基づいて上記被検材の表面状態を検査する外観検査装置において,上記受光手段によって得られた光から,上記被検材全体の画像を生成する全体画像生成手段と,上記全体画像生成手段で生成された上記被検材全体の画像を所定位置に位置決めする位置決め手段と,上記位置決め手段で位置決めされた上記画像上で,予め設定された検査領域内における所定の状態量を求める状態量取得手段と,上記状態量取得手段で得られた上記所定の状態量に基づいて上記被検材の表面状態を判定する判定手段とを具備してなることを特徴とする外観検査装置。
IPC (2)：
G01N 21/88 ,  H01L 21/66
FI (2)：
G01N 21/88 E ,  H01L 21/66 J
F-Term (28)：
2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051AB20 ,  2G051CA03 ,  2G051CB05 ,  2G051CD04 ,  2G051DA07 ,  2G051EA17 ,  2G051EB01 ,  2G051EB10 ,  2G051EC02 ,  2G051EC03 ,  2G051GD01 ,  4M106BA04 ,  4M106CA19 ,  4M106CA38 ,  4M106DB02 ,  4M106DB07 ,  4M106DB19 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ07 ,  4M106DJ12 ,  4M106DJ14 ,  4M106DJ15 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ21 ,  4M106DJ23
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (26)
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