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J-GLOBAL ID：200903049891156566

複合基板およびその製造方法

Inventor：
野田 憲一

About 野田 憲一

, 
吉野 隆史

About 吉野 隆史


Applicant, Patent owner：
日本碍子株式会社

About 日本碍子株式会社


Agent (2)： 細田 益稔 ,  青木 純雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004030357
Publication number (International publication number)：2004295089
Application date： Feb. 06, 2004
Publication date： Oct. 21, 2004
Summary：
【課題】シリコン単結晶またはGaAs単結晶からなる基板と、非線形光学効果を有する単結晶との複合基板であって、基板の反り、剥離、割れが生じにくい複合基板を提供する。【解決手段】複合基板1は、シリコン単結晶またはGaAs単結晶からなる基板4、厚さ0.1μm以上、25μm以下の薄板2、および基板4と薄板2とを接合する接合層3を備えている。薄板2が、非線形光学効果を有する単結晶(例えばニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム単結晶)からなる。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
シリコン単結晶またはGaAs単結晶からなる基板、厚さ0.1μm以上、25μm以下の薄板および前記基板と前記薄板とを接合する接合層を備えており、前記薄板が、非線形光学効果を有する単結晶からなることを特徴とする、複合基板。
IPC (2)：
G02F1/35 ,  G02F1/377
FI (2)：
G02F1/35 ,  G02F1/377
F-Term (8)：
2K002AB12 ,  2K002CA03 ,  2K002CA22 ,  2K002DA06 ,  2K002EA15 ,  2K002FA27 ,  2K002FA29 ,  2K002HA20
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3)
  • 特許第2563733号公報
  • 圧電複合基板の製造方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-177797   Applicant：松下電器産業株式会社
  • 表面弾性波コンボルバ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-249016   Applicant：松下電器産業株式会社
Cited by examiner (4)
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