化学増幅型放射線感受性樹脂組成物

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：服部平八
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996177305
Publication number (International publication number)：1998010738
Application date： Jun. 18, 1996
Publication date： Jan. 16, 1998
Summary：

【要約】【課題】本発明は、高感度であり、クオーターミクロン以下の高解像性を有し、かつ耐熱性、焦点深度幅特性、露光余裕度が高く、引置き経時安定性に優れ、基板依存性がなくプロファイル形状の優れたレジストパターンを形成できる化学増幅型放射線感受性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】(A)酸の作用によりアルカリ水溶液に対する溶解性が増大する樹脂、(B)放射線の照射により酸を発生する化合物、及び(C)水酸基を持たない分子量500以下の非縮合多環式化合物を含有するとともに、さらに有機カルボン酸及びアミンやN,N-ジアルキルカルボン酸アミドアミンを含有してもよい化学増幅型放射線感受性樹脂組成物。

Claim (excerpt)：

(A)酸の作用によりアルカリ水溶液に対する溶解性が増大する樹脂、(B)放射線の照射により酸を発生する化合物、及び(C)水酸基を持たない分子量500以下の非縮合多環式化合物を含有することを特徴とする化学増幅型放射線感受性樹脂組成物。

IPC (5)：

G03F 7/039 501 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 , G03F 7/033 , H01L 21/027

FI (5)：

G03F 7/039 501 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 , G03F 7/033 , H01L 21/30 502 R

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (6)

感光性組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-245299 Applicant：株式会社東芝
感放射線性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-073169 Applicant：日本合成ゴム株式会社
乾式現像可能なフォトレジスト組成物およびその使用方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-305898 Applicant：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション

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Cited by examiner (6)

感光性組成物
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