酸化亜鉛層付基板、酸化亜鉛層の形成方法、光起電力素子及びその製造方法

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：渡辺敬介 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998377005
Publication number (International publication number)：2000022189
Application date： Dec. 28, 1998
Publication date： Jan. 21, 2000
Summary：

【要約】【課題】反射性能及び光閉じ込め効果に優れ、光電変換効率の高い光起電力素子を安価に提供する。【解決手段】導電性基板1001上に、スパッタ法により金属アルミニウム層1002を形成し、その上にスパッタ法によってc軸に配向した酸化亜鉛層1003を形成し、さらにその上に電析法によってc軸の傾いた酸化亜鉛層1004を堆積させる工程において、上記酸化亜鉛層1003のスパッタ成膜時の基板温度を、酸化亜鉛層1004表面粗さRaが80nm以下となり、且つ、該表面の結晶粒の傾斜角の平均が15°以上となる温度に設定して行う。

Claim (excerpt)：

支持基板上に少なくとも酸化亜鉛層を有する酸化亜鉛層付基板であって、該酸化亜鉛層が、前記支持基板側から順に、c軸に配向した酸化亜鉛層と、c軸の傾いた酸化亜鉛層と、を有することを特徴とする酸化亜鉛層付基板。

IPC (2)：

H01L 31/04 , C23C 14/34

FI (2)：

H01L 31/04 M , C23C 14/34 N

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

透明導電膜
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-349730 Applicant：三菱マテリアル株式会社
透明導電性基板
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-296059 Applicant：旭硝子株式会社
光起電力素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-107047 Applicant：キヤノン株式会社

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