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J-GLOBAL ID：200903052348185794

光学特性検査装置および検査方法

Inventor：
岡本 恵

About 岡本 恵


Applicant, Patent owner：
富士フイルム株式会社

About 富士フイルム株式会社


Agent (5)： 小栗 昌平 ,  本多 弘徳 ,  市川 利光 ,  高松 猛 ,  矢澤 清純
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006177604
Publication number (International publication number)：2008008698
Application date： Jun. 28, 2006
Publication date： Jan. 17, 2008
Summary：
【課題】偏光板加工された多層複屈折試料における各層が有する複屈折(リタデーション)を、層ごとに精度よく測定することができる光学特性検査装置および検査方法を提供する。【解決手段】光源10から照射された直線偏光を第1スプリッタ11で参照光と信号光とに2分割し、参照光を参照光ミラー24で反射させて第1スプリッタ11に再入射させると共に、信号光を透明試料20を通して第1スプリッタ11に再入射させ、参照光と信号光との干渉光を第1スプリッタ11から出射させる。干渉光は、2つの偏光状態を選択適用できる偏光手段14を通して第1光強度検出手段15で受光され、スペクトル分布強度が検出される。そして、偏光手段14の透過軸方位を垂直方向および水平方向にセットして検出された2つのスペクトル分布強度から、第1演算手段16により透明試料20のリタデーションReを算出する。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
それぞれが光学軸を有する複数の透明材料を積層して構成された透明試料の光学特性を検出する光学特性検査装置であって、 直線偏光を照射する光源と、 前記直線偏光を参照光と信号光とに2分割する第1スプリッタと、 前記参照光を同一光路に反射する参照光ミラーを有し且つその光路長変更可能の参照アームと、 前記信号光を前記透明試料を通しつつ同一光路に反射する信号光アームと、 前記参照アームと信号光アームとを通って前記スプリッタに再入射し同一方向に出射した干渉光に対して2つの偏光状態を選択適用できる偏光手段と、 前記偏光手段を透過した干渉光を受光してスペクトル分布強度を検出する第1光強度検出手段と、 前記第1光強度検出手段の検出した2つの偏光状態に対応する2つのスペクトル分布強度から前記透明試料のリタデーションを算出する第1演算手段とを設けたことを特徴とする光学特性検査装置。
IPC (2)：
G01N 21/23 ,  G02F 1/133
FI (3)：
G01N21/23 ,  G02F1/1335 510 ,  G02F1/13363
F-Term (22)：
2G059AA02 ,  2G059BB10 ,  2G059EE01 ,  2G059EE05 ,  2G059EE09 ,  2G059EE12 ,  2G059GG10 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ20 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK01 ,  2G059LL01 ,  2G059MM01 ,  2H091FA08X ,  2H091FA08Z ,  2H091FA11X ,  2H091FA11Z ,  2H091FC29 ,  2H091FC30 ,  2H091KA02
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2)

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