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J-GLOBAL ID：200903052517387032

搬送装置及び搬送方法

Inventor： 大倉 淳 ,  飯田 成昭 ,  工藤 博之
Applicant, Patent owner： 東京エレクトロン株式会社 ,  東京エレクトロン九州株式会社
Agent (1)： 金本 哲男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996040592
Publication number (International publication number)：1996274143
Application date： Feb. 02, 1996
Publication date： Oct. 18, 1996
Summary：

【要約】【課題】 搬送装置を用いて被処理基板を処理ユニット間で搬送するにあたり、搬送装置自体に過大な負担をかけることなくこれを迅速に行い、スループットを向上させる。【解決手段】 半導体ウエハを搬送する搬送装置34において、ウエハ保持するピンセット41、42、43は搬送基台40に対して前進後退自在であり、搬送装置34自体は、θ方向に回転する筒状支持体33内を、Z方向に昇降自在である。ウエハを搬送するにあたり、搬送装置34の昇降中に、筒状支持体33が同時に回転し、またピンセット41、42、43のうち特定ピンセットも、所定距離だけ同時に前進する。

Claim (excerpt)：

上下方向に昇降自在でかつ水平方向にも回転自在に構成された搬送部材と、この搬送部材に設けられて被処理基板を保持する保持部材とを有し、前記保持部材が被処理基板に対して処理を行う処理装置に対して進退自在となるように、前記保持部材が前記搬送部材における水平方向前後に摺動自在に構成された搬送装置において、前記搬送部材の昇降中、前記搬送部材が水平方向にも同時に回転するように構成されたことを特徴とする、搬送装置。

IPC (4)：

H01L 21/68 ,  B25J 18/02 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/027

FI (4)：

H01L 21/68 A ,  B25J 18/02 ,  B65G 49/07 D ,  H01L 21/30 569 D

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (9)

• 特開平4-056338
  
• 工業用ロボツト
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-024914   Applicant：トキコ株式会社
• 7軸マニピュレータの制御方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-060845   Applicant：株式会社安川電機
• 産業用ロボットの加減速制御装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-055181   Applicant：株式会社安川電機
• 特開平3-128693
  
• 円盤状部品の搬送方法及びその装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-233978   Applicant：ソニー株式会社
• ウエハー位置およびオリエンテーシヨンフラツト方向検出方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-207567   Applicant：沖電気工業株式会社
• 特開昭64-048443
  
• ウエハ搬送装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-207270   Applicant：キヤノン株式会社

Cited by examiner (2)

• 特開平4-056338
  
• 特開平4-056338