ポジ型感光性樹脂組成物及び半導体装置

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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002265237
Publication number (International publication number)：2004132996
Application date： Sep. 11, 2002
Publication date： Apr. 30, 2004
Summary：

【課題】高感度かつ高解像度であるポジ型感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】ポリアミド樹脂(A)100重量部、感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜50重量部及び一般式(2)で示されるフェノール化合物(C)1〜30重量部を含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】

Claim (excerpt)：

一般式(1)で示されるポリアミド樹脂(A)100重量部、感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜50重量部及び一般式(2)で示されるフェノール化合物(C)1〜30重量部を含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (7)：

G03F7/037 , C08G69/26 , C08G69/42 , G03F7/004 , G03F7/022 , G03F7/075 , H01L21/027

FI (7)：

G03F7/037 , C08G69/26 , C08G69/42 , G03F7/004 501 , G03F7/022 , G03F7/075 521 , H01L21/30 502R

F-Term (35)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BC68 , 2H025BC69 , 2H025BC70 , 2H025BE01 , 2H025CB25 , 2H025CB26 , 2H025CC20 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 4J001DA01 , 4J001DB01 , 4J001DB02 , 4J001DC05 , 4J001DC08 , 4J001DC10 , 4J001DC16 , 4J001DD02 , 4J001DD07 , 4J001EB36 , 4J001EB37 , 4J001EB44 , 4J001EB57 , 4J001EC38 , 4J001EC66 , 4J001EC67 , 4J001EC70 , 4J001FB03 , 4J001FC03 , 4J001GA13 , 4J001JA20 , 4J001JB18

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

ポジ型感光性樹脂組成物及びそれを用いた半導体装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-060800 Applicant：住友ベークライト株式会社
ポジ型感光性樹脂組成物及びそれを用いた半導体装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-348666 Applicant：住友ベークライト株式会社
ポジ型感光性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-350165 Applicant：住友ベークライト株式会社

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

化学大辞典, 19861020, 108,111

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