ポジ型感光性樹脂組成物及び半導体装置の製造方法

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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002247366
Publication number (International publication number)：2004125815
Application date： Aug. 27, 2002
Publication date： Apr. 22, 2004
Summary：

【課題】高感度で、かつ高解像度であるポジ型感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】アルカリ可溶性樹脂(A)100重量部、感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜50重量部及び一般式(1)で示される構造を有するフェノール化合物(C)1〜30重量部を含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】

Claim (excerpt)：

アルカリ可溶性樹脂(A)100重量部、感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜50重量部及び一般式(1)で示される構造を有するフェノール化合物(C)1〜30重量部を含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (5)：

G03F7/004 , G03F7/022 , G03F7/037 , G03F7/075 , H01L21/027

FI (5)：

G03F7/004 501 , G03F7/022 , G03F7/037 , G03F7/075 521 , H01L21/30 502R

F-Term (15)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025CB23 , 2H025CB25 , 2H025CB26 , 2H025CB28 , 2H025CB52 , 2H025CC20 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 2H025FA29

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

感光性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-287674 Applicant：クラリアントジャパン株式会社, 旭化成株式会社
ポジ型感光性樹脂組成物及びそれを用いた半導体装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-068097 Applicant：住友ベークライト株式会社
ポジ型ホトレジスト組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-302552 Applicant：東京応化工業株式会社

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