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J-GLOBAL ID：200903055289707616

収納装置、露光装置、清掃処理方法及び露光方法

Inventor：
入江 信行

About 入江 信行


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (1)： 立石 篤司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002222456
Publication number (International publication number)：2004063934
Application date： Jul. 31, 2002
Publication date： Feb. 26, 2004
Summary：
【課題】ホルダのクリーン度を維持する。【解決手段】ホルダポッド70を構成するカバー77には、支持部材78A、78Bによって支持されたホルダとベース板79との間の空隙に対してその先端部を挿入及び離脱可能な少なくとも2本のアーム部材75A,75Bと、各アーム部材の先端部を前記空隙に挿入する第1状態と空隙内から離脱する第2状態とを切り換える駆動機構99とを有する切り換えアーム機構が設けられている。これにより、前記第2の状態で、カバーを持ち上げることでカバーを本体部から取り外すことができ、この状態ではホルダの表面を清掃することが可能である。また、各アーム部材が第1の状態に切り換えられた状態で、カバーを持ち上げることで、カバーと一緒にアーム部材によって支持されたホルダを持ち上げることができるので、この状態では、ホルダの裏面を清掃することが可能となる。【選択図】 図6
Claim (excerpt)：
物体の保持に用いられる保持装置を収納する収納装置であって、 ベース板と、該ベース板に設けられ前記保持装置を前記ベース板から所定距離隔てて支持する支持部材とを有する本体部と; 前記本体部の全体を覆う状態で前記ベース板に着脱自在に取り付けられ、その内部に保持装置収納空間を形成するカバーと; 前記カバーの一部に固定されたカバー持ち上げ用の把持部と; 前記カバーに取り付けられ、前記支持部材によって支持された前記保持装置と前記ベース板との間の空隙に対してその先端部が挿入及び離脱可能な少なくとも2本のアーム部材と、前記各アーム部材の先端部を前記空隙に挿入する第1状態と前記空隙内から離脱する第2状態とを切り換える切り換え機構とを有する切り換えアーム機構と;を備える収納装置。
IPC (3)：
H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  H01L21/68
FI (8)：
H01L21/30 503G ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/68 T ,  H01L21/30 503C ,  H01L21/30 515G ,  H01L21/30 514D ,  H01L21/30 516E ,  H01L21/30 514E
F-Term (49)：
5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA12 ,  5F031EA11 ,  5F031EA14 ,  5F031EA19 ,  5F031EA20 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA08 ,  5F031GA10 ,  5F031GA15 ,  5F031GA32 ,  5F031GA43 ,  5F031HA13 ,  5F031JA34 ,  5F031JA35 ,  5F031KA08 ,  5F031KA11 ,  5F031MA16 ,  5F031MA27 ,  5F031NA09 ,  5F031NA10 ,  5F031NA14 ,  5F031NA18 ,  5F031PA21 ,  5F031PA26 ,  5F046AA17 ,  5F046BA04 ,  5F046BA05 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046CC08 ,  5F046CD01 ,  5F046CD04 ,  5F046CD06 ,  5F046DA07 ,  5F046DA14 ,  5F046DA26 ,  5F046DB01 ,  5F046DB05 ,  5F046DC12 ,  5F046FA09 ,  5F046FC08
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
  • カセット移載システム
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-178704   Applicant：国際電気株式会社
  • 露光装置用のクリーニング装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-252243   Applicant：株式会社ニコン
  • 露光装置及び露光方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-342735   Applicant：株式会社ニコン
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