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J-GLOBAL ID：200903055349322450

シール材およびその製造方法

Inventor：
鈴木 泰雄

About 鈴木 泰雄

, 
佐藤 征吾

About 佐藤 征吾


Applicant, Patent owner：
株式会社プラズマイオンアシスト

About 株式会社プラズマイオンアシスト

, 
佐藤 征吾

About 佐藤 征吾


Agent (1)： 福島 祥人
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004240941
Publication number (International publication number)：2006057008
Application date： Aug. 20, 2004
Publication date： Mar. 02, 2006
Summary：
【課題】 種々の気体を長期間に渡って確実にシールすることが可能なシール材およびその製造方法を提供する。【解決手段】 三次元プラズマイオン注入成膜法を用いて、ゴムにより形成されるパッキン本体1の表面をダイヤモンド・ライク・カーボン薄膜で被覆する。ダイヤモンド・ライク・カーボン薄膜は、フッ素含有水素化アモルファス炭素、水素化アモルファス炭素を含む。三次元プラズマイオン注入成膜法は、炭化水素ガスおよびフッ素ガスのプラズマ中でのイオン注入によりパッキン本体1の表面にイオン注入層を形成する工程と、炭化水素ガスおよびフッ素ガスのプラズマ中でのイオン成膜によりイオン注入層上にダイヤモンド・ライク・カーボン薄膜を形成する工程とを含む。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
気体の通過を阻止するために用いられるシール材であって、 ゴムにより形成されるシール材本体の表面が水素およびフッ素を含有する第1のダイヤモンド・ライク・カーボン薄膜で被覆されたことを特徴とするシール材。
IPC (5)：
C09K 3/10 ,  C08J 7/06 ,  C23C 16/27 ,  C23C 16/511 ,  F16J 15/10
FI (11)：
C09K3/10 Z ,  C09K3/10 D ,  C09K3/10 J ,  C09K3/10 K ,  C09K3/10 M ,  C09K3/10 Q ,  C08J7/06 Z ,  C23C16/27 ,  C23C16/511 ,  F16J15/10 F ,  F16J15/10 X
F-Term (25)：
3J040EA15 ,  3J040EA17 ,  3J040EA46 ,  3J040EA50 ,  3J040HA01 ,  3J040HA06 ,  4F006AA04 ,  4F006AB72 ,  4F006BA05 ,  4F006CA00 ,  4F006DA01 ,  4H017AA03 ,  4H017AA29 ,  4H017AB03 ,  4H017AB12 ,  4H017AC15 ,  4H017AD06 ,  4H017AE05 ,  4K030AA04 ,  4K030AA09 ,  4K030AA10 ,  4K030BA28 ,  4K030CA01 ,  4K030LA01 ,  4K030LA11
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (18)
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Cited by examiner (17)
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