Pat
J-GLOBAL ID：200903055881394671

走査型プローブ顕微鏡

Inventor：
大田 昌弘

About 大田 昌弘


Applicant, Patent owner：
株式会社島津製作所

About 株式会社島津製作所


Agent (1)： 小林 良平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005066193
Publication number (International publication number)：2006250649
Application date： Mar. 09, 2005
Publication date： Sep. 21, 2006
Summary：
【課題】 観察対象や観察目的に応じてスキャナを交換する必要が無く、高い分解能を保ったまま、微小領域から広域までの観察を行うことのできる走査型プローブ顕微鏡を提供する。 【解決手段】 探針13をX-Y-Z軸方向に移動させる探針側スキャナ10と試料12をX-Y-Z軸方向に移動させる試料側スキャナ11の2つのスキャナを設ける。探針側スキャナ10として最大走査範囲の小さいスキャナ、試料側スキャナ11として最大走査範囲の大きいスキャナを使用し、観察対象や観察目的に応じて両者を切り替えて使用する。あるいは、探針側スキャナ10で微小領域の走査を行うと共に、試料側スキャナ11によって観察視野を移動させる。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
微小な探針によって試料の表面を走査することにより、試料表面の3次元形状や物理量を検出する走査型プローブ顕微鏡において、 a)探針をX-Y-Z軸方向に移動させる探針移動機構と、 b)試料をX-Y-Z軸方向に移動させる試料移動機構と、 を有することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2)：
G01N 13/10 ,  G01B 21/30
FI (2)：
G01N13/10 B ,  G01B21/30
F-Term (13)：
2F069AA60 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069GG20 ,  2F069HH04 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ08 ,  2F069JJ15 ,  2F069LL03 ,  2F069MM23 ,  2F069MM32 ,  2F069MM34 ,  2F069MM38
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
  • 走査型プローブ顕微鏡
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-144348   Applicant：株式会社島津製作所
Cited by examiner (5)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM