ポジ型感光性組成物

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：長谷川一 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994246758
Publication number (International publication number)：1996087107
Application date： Sep. 16, 1994
Publication date： Apr. 02, 1996
Summary：

【要約】【目的】遠紫外領域の光を用いたハーフミクロンリソグラフィーに対応できる、高γ値を有する化学増幅型ポジ型フォトレジストを提供する【構成】アルカリ可溶性樹脂、光酸発生剤および光によって発生した酸により反応しアルカリ可溶性となる化合物を主成分として含むポジ型感光性組成物において、ポリオキシアルキレン化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。

Claim (excerpt)：

アルカリ可溶性樹脂、光酸発生剤および光によって発生した酸により反応しアルカリ可溶性となる化合物を主成分として含むポジ型感光性組成物において、ポリオキシアルキレン化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。

IPC (4)：

G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 , G03F 7/039 501 , H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

感放射線性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-073169 Applicant：日本合成ゴム株式会社
感放射線性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-354297 Applicant：日本合成ゴム株式会社
特開平3-192361

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