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J-GLOBAL ID:200903056930297616

量子ドットの形成方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 伊東 忠彦
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004262638
Publication number (International publication number):2006080293
Application date: Sep. 09, 2004
Publication date: Mar. 23, 2006
Summary:
【課題】 高密度かつ高均一な量子ドットの自己形成を実現する。【解決手段】 GaAs基板上に、GaAsバッファ層を形成し、GaAsバッファ層上に、GaSbxAs1-x(0 Claim (excerpt):
GaAs基板上に、GaAsバッファ層を形成し、 前記GaAsバッファ層上に、GaSbxAs1-x(0 IPC (3):
H01L 29/06 ,  H01L 21/203 ,  H01S 5/343
FI (3):
H01L29/06 601D ,  H01L21/203 M ,  H01S5/343
F-Term (17):
5F103AA04 ,  5F103DD03 ,  5F103DD30 ,  5F103LL03 ,  5F103NN01 ,  5F103NN03 ,  5F103RR06 ,  5F173AA16 ,  5F173AF09 ,  5F173AF12 ,  5F173AF15 ,  5F173AG12 ,  5F173AH03 ,  5F173AP10 ,  5F173AQ12 ,  5F173AQ14 ,  5F173AR04
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (6)
  • 半導体量子ドット及びその製造方法
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平9-097569   Applicant:富士通株式会社
  • 量子ドットの形成方法
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平11-175914   Applicant:日本電気株式会社, 株式会社日立製作所, 技術研究組合フェムト秒テクノロジー研究機構
  • 半導体発光素子
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平7-238756   Applicant:株式会社東芝
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Cited by examiner (4)
  • 半導体発光素子
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平7-238756   Applicant:株式会社東芝
  • 半導体素子
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平11-336787   Applicant:ソニー株式会社
  • 量子箱メモリ
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平8-143213   Applicant:ソニー株式会社
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Article cited by the Patent:
Cited by applicant (2) Cited by examiner (1)

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