Sep. 09, 2004
Mar. 23, 2006
【課題】 高密度かつ高均一な量子ドットの自己形成を実現する。【解決手段】 GaAs基板上に、GaAsバッファ層を形成し、GaAsバッファ層上に、GaSbxAs1-x(0
Claim (excerpt):
GaAs基板上に、GaAsバッファ層を形成し、
前記GaAsバッファ層上に、GaSbxAs1-x(0
IPC (3):
H01L 29/06
, H01L 21/203
, H01S 5/343
FI (3):
H01L29/06 601D
, H01L21/203 M
, H01S5/343
F-Term (17):
5F103AA04
, 5F103DD03
, 5F103DD30
, 5F103LL03
, 5F103NN01
, 5F103NN03
, 5F103RR06
, 5F173AA16
, 5F173AF09
, 5F173AF12
, 5F173AF15
, 5F173AG12
, 5F173AH03
, 5F173AP10
, 5F173AQ12
, 5F173AQ14
, 5F173AR04
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (6)
-
半導体量子ドット及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-097569
Applicant:富士通株式会社
-
量子ドットの形成方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-175914
Applicant:日本電気株式会社, 株式会社日立製作所, 技術研究組合フェムト秒テクノロジー研究機構
-
半導体発光素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-238756
Applicant:株式会社東芝
-
半導体素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-336787
Applicant:ソニー株式会社
-
量子箱メモリ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-143213
Applicant:ソニー株式会社
-
量子ドットの作製方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-045342
Applicant:日本電気株式会社
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Cited by examiner (4)
-
半導体発光素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-238756
Applicant:株式会社東芝
-
半導体素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-336787
Applicant:ソニー株式会社
-
量子箱メモリ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-143213
Applicant:ソニー株式会社
-
量子ドットの作製方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-045342
Applicant:日本電気株式会社
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Article cited by the Patent:
Cited by applicant (2)
Cited by examiner (1)
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