半導体集積回路装置およびその製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：筒井大和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002184292
Publication number (International publication number)：2004031559
Application date： Jun. 25, 2002
Publication date： Jan. 29, 2004
Summary：

【課題】歪み基板の素子分離の壁を介するリーク電流を低減し、素子分離特性を向上させる。【解決手段】単結晶シリコン層1a、SiGe層1bおよびこのSiGe層1b上にエピタキシャル成長された単結晶Si層1cよりなる歪み基板1中に、その底部がSiGe層1b中に位置する溝2を形成し、溝2の内壁に単結晶Siをエピタキシャル成長させることによりSi膜3を形成し、さらに、このSi膜3の一部を酸化しその上部にSi酸化膜(熱酸化膜)6を形成した後、溝2の内部を含む基板1上に、絶縁膜としてCVD法により酸化シリコン膜7を堆積し、その表面CMP法により研磨する。このように素子分離SGIとSiGe層1bとの間にSi膜3を介在させることにより素子分離SGIの壁に沿ったリーク電流を低減することができる。【選択図】図13

Claim (excerpt)：

(a)SiGe層と、前記SiGe層上にエピタキシャル成長された第1のSi層とを有し、素子分離領域で区画された素子形成領域を有する半導体基板と、 (b)前記素子分離領域に形成された溝とその内部の絶縁膜よりなる素子分離であって、前記溝は、前記第1のSi層を貫通し、前記SiGe層の途中にその底部を有する素子分離と、 (c)前記素子分離と前記SiGe層との間に形成された第2のSi層と、 (d)前記素子形成領域の半導体基板の主表面に形成された半導体素子と、を有することを特徴とする半導体集積回路装置。

IPC (5)：

H01L21/76 , H01L21/8238 , H01L27/08 , H01L27/092 , H01L29/78

FI (5)：

H01L21/76 L , H01L27/08 331A , H01L27/08 321B , H01L29/78 301B , H01L29/78 301R

F-Term (68)：

5F032AA35 , 5F032AA44 , 5F032AA45 , 5F032AA46 , 5F032AA47 , 5F032AA54 , 5F032AA70 , 5F032AA77 , 5F032BB03 , 5F032BB08 , 5F032CA03 , 5F032CA09 , 5F032CA17 , 5F032CA18 , 5F032DA02 , 5F032DA04 , 5F032DA12 , 5F032DA22 , 5F032DA33 , 5F032DA53 , 5F032DA74 , 5F048AC03 , 5F048BA05 , 5F048BC06 , 5F048BE03 , 5F048BF06 , 5F048BF16 , 5F048BG01 , 5F048BG13 , 5F048DA27 , 5F140AA01 , 5F140AA05 , 5F140AA24 , 5F140AB03 , 5F140AC28 , 5F140BA01 , 5F140BA16 , 5F140BA17 , 5F140BC12 , 5F140BE02 , 5F140BE07 , 5F140BF04 , 5F140BF18 , 5F140BF21 , 5F140BF27 , 5F140BF60 , 5F140BG08 , 5F140BG14 , 5F140BG27 , 5F140BG34 , 5F140BG44 , 5F140BG52 , 5F140BG53 , 5F140BH15 , 5F140BJ08 , 5F140BJ11 , 5F140BJ17 , 5F140BJ27 , 5F140BK21 , 5F140BK27 , 5F140BK34 , 5F140BK38 , 5F140CA03 , 5F140CB04 , 5F140CB08 , 5F140CB10 , 5F140CC03 , 5F140CF04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

半導体デバイスおよびその作製方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-344533 Applicant：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
半導体装置の素子分離用トレンチ構造
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-011575 Applicant：ソニー株式会社
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Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-293720 Applicant：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション

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