近接場顕微鏡

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：岩橋祐司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000345372
Publication number (International publication number)：2002148172
Application date： Nov. 13, 2000
Publication date： May. 22, 2002
Summary：

【要約】【課題】本発明の目的は、測定結果からノイズの影響を除去することができる近接場顕微鏡を提供するとともに、光源として赤外光源を用い、近接場技術を用いて光の波長より小さな範囲での近接場赤外スペクトル測定を可能とする赤外近接場顕微鏡を提供することである。【解決手段】本発明における近接場顕微鏡2は、プローブ4と、光源8を含む光照射手段10と、光採取手段14と、算出手段16とを有し、光の照射によって発生する近接場光の場から試料6またはプローブ4を隔離または近接場光の場の浅い位置に配置して、光採取手段14によってノイズを検出し、前記光の照射によって発生する近接場光の場に試料6またはプローブ4を深く挿入して、光採取手段14によって光強度を検出して、算出手段16によって、前記光強度からノイズを差し引いた測定結果を算出することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

近接場光を散乱させるためのプローブと、試料または前記プローブに光を照射するための光源を含む光照射手段と、前記プローブによって散乱される試料の情報を含んだ光を採取し、検出するための光採取手段と、を有する近接場顕微鏡において、前記光の照射によって発生する近接場光の場から前記試料またはプローブを隔離または近接場光の場の浅い位置に配置して、前記光採取手段によってノイズを検出し、前記光の照射によって発生する近接場光の場に前記試料またはプローブを深く挿入して、前記光採取手段によって光強度を検出し、前記光強度からノイズを差し引いた測定結果を算出するための算出手段を有することを特徴とする近接場顕微鏡。

IPC (2)：

G01N 13/14 , G12B 21/06

FI (2)：

G01N 13/14 A , G12B 1/00 601 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

走査型光顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-068607 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
近視野光学顕微鏡装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-052765 Applicant：キヤノン株式会社
近接場光顕微鏡および近接場光顕微鏡による試料観察方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-106580 Applicant：オリンパス光学工業株式会社

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