ポジ型感光性樹脂組成物並びにそれらを用いた半導体装置及び表示素子

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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004251311
Publication number (International publication number)：2006071663
Application date： Aug. 31, 2004
Publication date： Mar. 16, 2006
Summary：

【課題】特に金属との密着性に優れたポリベンゾオキサゾール樹脂又はポリイミド樹脂又はその共重合樹脂を提供することを目的とするポリアミド樹脂とそれらを用いた露光特性に優れるポジ型感光性樹脂組成物を提供するものである。【解決手段】アルカリ可溶性樹脂(A)、感光性ジアゾキノン化合物(B)、一般式(1)または(2)で表される群より選ばれた少なくとも1種類以上の有機ケイ素化合物(C)及びフェノール化合物(D)を含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化47】【化48】

Claim (excerpt)：

アルカリ可溶性樹脂(A)、感光性ジアゾキノン化合物(B)、一般式(1)または(2)で表される群より選ばれる少なくとも1種類以上の有機ケイ素化合物(C)及びフェノール化合物(D)を含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (7)：

G03F 7/075 , C08G 73/06 , G03F 7/004 , G03F 7/022 , G03F 7/037 , G03F 7/085 , H01L 21/027

FI (8)：

G03F7/075 501 , G03F7/075 521 , C08G73/06 , G03F7/004 501 , G03F7/022 , G03F7/037 , G03F7/085 , H01L21/30 502R

F-Term (45)：

2H025AA14 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025CB25 , 2H025CB26 , 2H025CC06 , 2H025CC20 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 4J043PA04 , 4J043PA19 , 4J043PB02 , 4J043PB22 , 4J043QB15 , 4J043QB33 , 4J043RA05 , 4J043RA52 , 4J043SA06 , 4J043SB02 , 4J043TA11 , 4J043TA21 , 4J043UA121 , 4J043UA122 , 4J043UA131 , 4J043UA132 , 4J043UA151 , 4J043UA152 , 4J043UA561 , 4J043UB021 , 4J043UB022 , 4J043UB121 , 4J043UB122 , 4J043UB152 , 4J043UB221 , 4J043UB301 , 4J043UB302 , 4J043UB351 , 4J043UB401 , 4J043UB402 , 4J043ZB22 , 4J043ZB24

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

特公平1-46862号公報

Cited by examiner (7)

感光性重合体組成物、パターンの製造法及び電子部品
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-364142 Applicant：日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
半導体装置及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-117391 Applicant：住友ベークライト株式会社
大規模集積回路および液晶配向膜パターンの形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-290838 Applicant：株式会社日立製作所

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