Pat
J-GLOBAL ID：200903058818093229

非破壊検査装置

Inventor：
寺田 浩敏

About 寺田 浩敏

, 
松本 徹

About 松本 徹


Applicant, Patent owner：
浜松ホトニクス株式会社

About 浜松ホトニクス株式会社


Agent (4)： 長谷川 芳樹 ,  塩田 辰也 ,  寺崎 史朗 ,  池田 成人
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002251601
Publication number (International publication number)：2004093214
Application date： Aug. 29, 2002
Publication date： Mar. 25, 2004
Summary：
【課題】磁場検出手段を用いて試料の欠陥を精度良く検出できる非破壊検査装置を提供する。【解決手段】非破壊検査装置1は、レーザ光によってウェーハ5を走査し、それにより誘起される磁場をSQUID磁束計16によって検出する。SQUID磁束計は、試料の表面側に配置されている。その一方で、試料の裏面側ではオートフォーカスが実行される。オートフォーカシングコントローラ145は、オートフォーカシングアクチュエータ14bを用いて対物レンズ129と試料との距離を調整し、オートフォーカスを行う。コンピュータ18は、取得された磁場分布データに基づいて、試料の欠陥の有無を判定する。フォーカスを保ちながら試料を走査するので、精度良く試料の欠陥を検出できる。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
表面および裏面を有する試料を走査し、前記試料に設けられた所定の構造の欠陥を検出する非破壊検査装置であって、 前記試料の裏面に対向させて配置された対物レンズと、 前記試料の裏面側に配置され、前記対物レンズを介して前記試料にレーザ光を照射する照射手段と、 前記試料上における前記レーザ光の照射位置を移動させて前記試料を走査する走査手段と、 前記試料の裏面側に配置され、前記対物レンズと前記試料との距離を調整してオートフォーカスを行うオートフォーカシング手段と、 前記試料の表面側に配置され、前記試料の走査によって発生する磁場を検出し、磁場分布データを取得する磁場検出手段と、 を備え、 前記磁場分布データに基づいて前記欠陥を検出する非破壊検査装置。
IPC (2)：
G01N27/82 ,  H01L21/66
FI (2)：
G01N27/82 ,  H01L21/66 C
F-Term (18)：
2G053AA11 ,  2G053AA30 ,  2G053AB01 ,  2G053BB00 ,  2G053BB05 ,  2G053CA10 ,  2G053CA19 ,  2G053CA20 ,  2G053CB24 ,  2G053CB28 ,  4M106AA01 ,  4M106BA05 ,  4M106CA70 ,  4M106DH11 ,  4M106DH38 ,  4M106DH39 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ07
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (13)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM