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J-GLOBAL ID：200903060348947999

外観検査装置及び投影方法

Inventor：
黒沢 俊郎

About 黒沢 俊郎

, 
山崎 祥平

About 山崎 祥平

, 
宮▲崎▼ 陽子

About 宮▲崎▼ 陽子


Applicant, Patent owner：
株式会社東京精密

About 株式会社東京精密


Agent (5)： 青木 篤 ,  鶴田 準一 ,  島田 哲郎 ,  小林 龍 ,  西山 雅也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004202900
Publication number (International publication number)：2006023221
Application date： Jul. 09, 2004
Publication date： Jan. 26, 2006
Summary：
【課題】 照明方法、照明形状及び試料の投影像の空間フィルタを、外観検査中に動的に変更することが可能な外観検査装置及びその試料の投影像の投影方法を提供する。【解決手段】 外観検査装置の照明光学系12、13及び撮像光学系21、22を、対物レンズ3の瞳位置8との共役点にミラーアレイデバイス15、25を配置した反射光学系として構成し、ミラーアレイデバイス15、25を試料2上の対物レンズ3の視野位置に応じて制御する。【選択図】 図3
Claim (excerpt)：
光源と、 対物レンズと、 前記光源から生じた照明光を前記対物レンズを介して試料に照射する照明光学系と、 前記対物レンズにより投影された前記試料の像をさらに撮像装置上に投影する撮像光学系とを備え、 前記照明光学系は、前記対物レンズの瞳位置との共役点にミラーアレイデバイスを配置した反射光学系をなすことを特徴とする外観検査装置。
IPC (3)：
G01N 21/956 ,  G01B 11/30 ,  H01L 21/66
FI (3)：
G01N21/956 A ,  G01B11/30 A ,  H01L21/66 J
F-Term (34)：
2F065AA49 ,  2F065AA56 ,  2F065BB02 ,  2F065CC19 ,  2F065CC25 ,  2F065FF41 ,  2F065HH04 ,  2F065HH16 ,  2F065HH17 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL05 ,  2F065LL11 ,  2F065LL21 ,  2F065LL30 ,  2F065LL46 ,  2G051AA51 ,  2G051AA56 ,  2G051AB02 ,  2G051BB07 ,  2G051BB11 ,  2G051CA04 ,  2G051CC07 ,  2G051CC11 ,  2G051DA07 ,  4M106AA01 ,  4M106CA39 ,  4M106DB04 ,  4M106DB13 ,  4M106DB19
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
  • ウエハ欠陥検査装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-351965   Applicant：株式会社東京精密
  • 外観検査装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-265197   Applicant：株式会社東京精密
  • 外観検査装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-265127   Applicant：株式会社東京精密
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Cited by examiner (2)

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