有機光導波路およびその製造方法並びにそれを用いた光学部品

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：原謙三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998338047
Publication number (International publication number)：2000162460
Application date： Nov. 27, 1998
Publication date： Jun. 16, 2000
Summary：

【要約】【課題】同一基板上に、有機光導波路と他の素子と集積化することが容易であり、RIEなどのドライエッチングによる残渣の発生を少なくする。また安価で加工性が良く、伝搬損失が小さな有機光導波路および光学部品を得る。【解決手段】基板1上にバッファ層2と有機ポリマからなるコア部3の上部にドライエッチングにより有機ポリマを加工するときにマスクとなり、かつ上部クラッドとなるマスク兼クラッド4が形成され、さらに、コア部3の周囲には、酸化シリコン等の無機誘電体からなるオーバークラッド5が形成されている。

Claim (excerpt)：

有機ポリマからなるコア部と、該コア部を覆うコア部より低い屈折率を有する無機誘電体からなるクラッド部とを有することを特徴とする有機光導波路。

IPC (2)：

G02B 6/13 , G02B 6/12

FI (2)：

G02B 6/12 M , G02B 6/12 N

F-Term (14)：

2H047KA05 , 2H047MA05 , 2H047MA07 , 2H047PA03 , 2H047PA04 , 2H047PA05 , 2H047PA24 , 2H047PA28 , 2H047QA05 , 2H047RA08 , 2H047TA05 , 2H047TA35 , 2H047TA43 , 2H047TA44

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

ポリマコア光導波路およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-239747 Applicant：日立電線株式会社
光導波路ならびに光電子混在基板
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-094040 Applicant：京セラ株式会社
光導波路素子およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-328729 Applicant：ヘキストジャパン株式会社

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